Π§ΠΈΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Π½Π° Bookidrom.ru! БСсплатныС ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠ»ΠΈΠΊΠ΅

Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Β«Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ°Ρ БовСтская ЭнциклопСдия (ВА)Β». Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° 30

Автор Π‘Π‘Π­ Π‘Π‘Π­

  Π›ΠΈΡ‚.: Ланис Π’. А., Π›Π΅Π²ΠΈΠ½Π° Π›. Π•., Π’Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… испытаний, 2 ΠΈΠ·Π΄., М. β€” Π›., 1963; Пипко А. И., Плисковский Π’. Π―., ΠŸΠ΅Π½Ρ‡ΠΊΠΎΠ•. А., ΠžΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ для ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², М. β€” Π›., 1965.

  А. Π’. Π‘Π°Π»ΠΈΡ†ΠΊΠΈΠΉ.

Рис. 2. Π’Ρ€ΡƒΠ±Ρ‡Π°Ρ‚Ρ‹ΠΉ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ Π½Π°Ρ‚Π΅ΠΊΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ: 1 β€” капиллярная Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°; 2 β€” ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ°; 3 β€” ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ (ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΌΠΎΡ‚ΠΊΠ°).

Рис. 1. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ»ΡŒΡ„ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ вСнтиля с Ρ€ΡƒΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.

Вакуумная ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ°

Π’Π°'куумная ΠΏΠ»Π°'Π²ΠΊΠ°, ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ сплавов ΠΏΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго 10-1 β€”10-4 Π½ /ΠΌ 2 (10-3 β€”10-6 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚ . ст .). ΠŸΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ‚ эффСктивно ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» ΠΎΡ‚ Π³Π°Π·ΠΎΠ² (Π°Π·ΠΎΡ‚Π°, кислорода ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°), примСсСй Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ нСмСталличСских Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ; ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² производствС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² для особо отвСтствСнных ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. Π­Ρ‚Ρƒ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΡƒ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… элСктропСчах. Π’. ΠΏ. ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ сплавов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ 50-Ρ… Π³Π³. 20 Π². Π­Ρ‚ΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π² Π‘Π‘Π‘Π  Π΅ΠΆΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ сотни тыс. Ρ‚ высококачСствСнных сталСй, сплавов ΠΈ чистых ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ².

Вакуумная спСктроскопия

Π’Π°'куумная спСктроскопи'я, спСктроскопия ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ области ΠΈ мягких рСнтгСновских Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ (Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ ΠΎΡ‚ 200 Π΄ΠΎ 0,4β€”0,6 Π½ΠΌ , ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚ 2000 Π΄ΠΎ 4β€”6Δ‚. Π˜Π·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² этом Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ сильно поглощаСтся Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅, поэтому Π² Π’. с. ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€, ΠΏΡ€ΠΈΡ‘ΠΌΠ½ΠΈΠΊ ΠΈ источник излучСния ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π² Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡Π°Π½ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ… Π΄ΠΎ давлСния 10-4 β€” 10-5 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚ . ст . (10-2 β€”10-3 Π½ /ΠΌ 2 ). ΠšΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ часто Π½Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π³Π°Π·Π°ΠΌΠΈ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π³Π΅Π»ΠΈΠ΅ΠΌ), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ излучСния Π² Π’. с. Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго слуТит Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚Π½Π°Ρ вакуумная (ΠΈΠ»ΠΈ «горячая») искра, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΈ напряТСнии 50 ΠΊΠ² ΠΈ искровом ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 ΠΌΠΌ . Установка, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ искру, ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π° Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ со ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ.

  ΠŸΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹, примСняСмыС Π² Π’. с., ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ спСцифичСскими. особСнностями, обусловлСнными Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… оптичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ области. Для Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ мСньшС 110 Π½ΠΌ (1100 Δ‚) вмСсто ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² с ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ·ΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π»ΠΈΠ½Π·Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ спСктрографы с Π²ΠΎΠ³Π½ΡƒΡ‚Ρ‹ΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· стСкла Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ³Π½ΡƒΡ‚Ρ‹ΠΌΠΈ кристаллами (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, слюда), Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ дифракционная Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΠ° .

  ИсслСдованиС спСктров испускания ΠΈ поглощСния Π² ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ области ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ большоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ для изучСния строСния Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… элСктронных ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°, систСматики Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ элСктронных молСкулярных спСктров , для Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ спСктров Π·Π²Ρ‘Π·Π΄ ΠΈ туманностСй. ОсобСнно большоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π’. с. для Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ высокотСмпСратурной ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹.

  Π›ΠΈΡ‚.: Π‘ΠΎΠΉΠ΅Ρ€ Π ., Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ спСктроскопия, ΠΏΠ΅Ρ€. с Π°Π½Π³Π»., М., 1953; Гаррисон Π”., Π›ΠΎΡ€Π΄ Π ., Π›ΡƒΡ„Π±ΡƒΡ€ΠΎΠ² Π”., ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ спСктроскопия, ΠΏΠ΅Ρ€. с Π°Π½Π³Π»., М., 1950.

Вакуумная Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ°

Π’Π°'куумная Ρ‚Π΅'Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ°, ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ для получСния, поддСрТания ΠΈ контроля Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ°.

  Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ развития Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ряда отраслСй ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π΅Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ связана с Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ Π’. Ρ‚. Π“Π΅Ρ€ΠΎΠ½ ΠΈΠ· АлСксандрии (вСроятно, 1 Π².) описываСт приспособлСния (рис. 1 ΠΈ 2 ), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‚ΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ пнСвматичСских ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ·Π΄Π½Π΅Π΅ для создания разрСТСния. ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Ρ‹ с Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΎΠΌ относятся ΠΊ 40-ΠΌ Π³Π³. 16 Π². Π’ 1654 Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ†ΠΊΠΈΠΉ ΡƒΡ‡Ρ‘Π½Ρ‹ΠΉ О. Ρ„ΠΎΠ½ Π“Π΅Ρ€ΠΈΠΊΠ΅ поставил ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚ с ΠœΠ°Π³Π΄Π΅Π±ΡƒΡ€Π³ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡˆΠ°Ρ€ΠΈΡΠΌΠΈ, наглядно ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π² сущСствованиС атмосфСрного давлСния. Насос, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ½ пользовался, Π±Ρ‹Π» ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ насосом для получСния Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° (рис. 3 ).

  Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»Π°ΠΌΠΏ накаливания (1879) Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π»ΠΎ дальнСйшСС Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Π’. Ρ‚. Π—Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²ΠΊΠ»Π°Π΄ Π² Π’. Ρ‚. внёс Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ†ΠΊΠΈΠΉ ΡƒΡ‡Ρ‘Π½Ρ‹ΠΉ Π’. Π“Π΅Π΄Π΅. Π’ 1905 ΠΎΠ½ Π²ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠ» Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Ρ‚ΡƒΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ насос, Π² 1913 создал ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ молСкулярный насос (рис. 4 ), Π² 1915 ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π» ΠΎΡ‚Ρ‡Ρ‘Ρ‚ ΠΎ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ насосС (рис. 5 ). Π’ 1916 амСриканский ΡƒΡ‡Ρ‘Π½Ρ‹ΠΉ Π›Π΅Π½Π³ΠΌΡŽΡ€ создал кондСнсационный ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΡ€Ρ‚ΡƒΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ насос (рис. 6 ).

  БыстроС Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Π’. Ρ‚. связано с Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ элСктроники, ядСрной энСргСтики, ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ. Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ достиТСния Π² области Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ дистилляции , ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ распространСниС Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎ-мСталлургичСских ΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎ-химичСских процСссов, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π² области управляСмых тСрмоядСрных Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ, Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° получСния Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΠΊ, особо чистых ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для космичСских Π»Π΅Ρ‚Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ испытания этих Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ² Π² условиях, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… ΠΊ космичСским, стали Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ благодаря высокому ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΡŽ развития соврСмСнной Π’. Ρ‚. Π’ июнС 1958 Π² Π‘Π΅Π»ΡŒΠ³ΠΈΠΈ состоялся ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ ΠœΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ конгрСсс ΠΏΠΎ Π’. Ρ‚., Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Π±Ρ‹Π»ΠΎ созданиС ΠœΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ общСства ΠΏΠΎ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅.

  Вакуумная систСма, ΠΈΠ»ΠΈ вакуумная установка, прСдставляСт собой Ρ‘ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Ρ‘Π½Π½ΡƒΡŽ с Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ насосами , ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² сСбя Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ , Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΡƒΡŽ Π°Ρ€ΠΌΠ°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ , тСчСискатСли ΠΈ Π΄Ρ€. устройства. Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ насоса для поддСрТания Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° ΠΏΡ€ΠΈ обСспСчСнии Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ процСсса опрСдСляСтся Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ насоса ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ; быстротой ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ насоса Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ (рис. 7 ). ΠŸΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΠΊ получСния высокого Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ: мСханичСскими Ρ„ΠΎΡ€Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ насосами ΠΎΡ‚ атмосфСрного давлСния Π΄ΠΎ 10-1 Π½ /ΠΌ 2 (10-3 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚. ст. ); Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ насосами Π΄ΠΎ 10-5 Π½ /ΠΌ 2 (10-7 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚. ст. ); ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-сорбционными насосами Π΄ΠΎ 10-9 Π½ /ΠΌ 2 (10-11 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚. ст .). ДостиТСниС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ порядка 10-6 β€”10-7 Π½ /ΠΌ 2 (10-8 β€” 10-9 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚. ст. ) ΠΈ мСньшС Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Π΅Π· ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ удалСния Π³Π°Π·Π° со стСнок ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ°.

  ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ соСдинСнии насосов количСство Π³Π°Π·Π° Q = p 1 s 1 = p 2 S 2 = .... p i S i , Π³Π΄Π΅ p i β€” впускноС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅; s i β€” быстрота ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ этом насосы Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ впускноС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π·Π°Π²Π΅Π΄ΠΎΠΌΠΎ мСньшС ΠΈ Π½Π΅ достигало допустимого выпускного давлСния ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ. ΠŸΠΎΠ»Π½ΠΎΡ‚Π° использования насосов Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ систСмС опрСдСляСтся быстротой ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ насоса sn ΠΈ сопротивлСниСм ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ насос с ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌ элСмСнтом Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ систСмы. ЭффСктивная быстрота ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ

 

  Π³Π΄Π΅

 

  β€” пропускная ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°, Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°, обратная ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ (измСряСтся Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Π°Ρ… быстроты ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ, Π» /сСк ). Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, всСгда sэф < sΠ½ ; sэф < u. БущСствуСт ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ количСством Π³Π°Π·Π°, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ Q = p i S i , пропускной ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° u ΠΈ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π°Ρ…: Q = u (p 2 β€” p 1 ). Π—Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ u Π² ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌ случаС опрСдСляСтся ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π³Π°Π·Π°, Π΅Π³ΠΎ состояниСм, Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΉ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° ΠΈ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠΌ тСчСния Π³Π°Π·Π°.

  Π’ установках, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… трСбуСмая быстрота ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ обСспСчСна насосами, установлСнными Π²Π½Π΅ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ свойства распылённого ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, ΠΊΠ°ΠΊ это ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ мСсто Π² ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-сорбционных насосах. Π’Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ° ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ нСсколько испаритСлСй, с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π½Π° Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… стСнках ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ осаТдаСтся Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½. Для удалСния Π³Π°Π·Π°, Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½ΠΎΠΌ, ΠΊ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌΡƒ ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ насос.

  Одной ΠΈΠ· Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ Π’. Ρ‚. являСтся ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎ 10-12 Π½ /ΠΌ 2 (10-14 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚. ст. ) ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΠΈ достиТСниС гСрмСтичности Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ систСмы, Π² особСнности Π² мСстах соСдинСния ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π΅Ρ‘ элСмСнтов. Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ (см. ВакууммСтрия ). ΠžΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅ΠΉ осущСствляСтся ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ тСчСискатСлями.

  Π’. Ρ‚. ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ΅. НапримСр, массовоС производство Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСктровакуумных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² Π½Π΅Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ связано с ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ получСния высокого Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΅Π³ΠΎ поддСрТания. Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ этих ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ удалСния Π³Π°Π·ΠΎΠ² (обСзгаТивания) ΠΈ использования Π³Π΅Ρ‚Ρ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ² для сохранСния Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ°. Π’Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΡƒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² производят Π½Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°Ρ€ΡƒΡΠ΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π°Ρ…. ΠŸΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ проходят ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ: установку, ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΡƒ, ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π² ΠΈ ΠΎΠ±Π΅Π·Π³Π°ΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ удалСния с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… повСрхностСй адсорбированных Π³Π°Π·ΠΎΠ², распылСниС Π³Π΅Ρ‚Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… вСщСств, ΠΎΡ‚ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ ΠΈ ΡΡŠΡ‘ΠΌ. ΠžΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΡƒ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ высокомолСкулярных крСмнийорганичСских соСдинСний, ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, масляных Ρ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ Π½Π΅Ρ„Ρ‚ΠΈ, слоТных эфиров, спирта, ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ² Π²ΠΈΡ‚Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€. ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² производят Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ 10-1 Π½ /ΠΌ 2 (10-3 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚. ст. ). Π’ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ ΠΎΠ±Π΅Π·Π³Π°ΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ изоляционныС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, Π·Π°Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ кондСнсаторы ΠΈ трансформаторы, ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΠ°Π±Π΅Π»ΠΈ, ΡΡƒΡˆΠ°Ρ‚ вСщСства (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, пластмассы), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ атмосфСрном Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π΅ Π²Ρ‹ΡΡƒΡˆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. Π’ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡƒΡˆΠ°Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… ΠΈ Π² Π·Π°ΠΌΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ состоянии ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ сублимации Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… вСщСств (яичный Π±Π΅Π»ΠΎΠΊ, Ρ„Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹, ТСнскоС ΠΌΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎ, Π°Π½Ρ‚ΠΈΠ±ΠΈΠΎΡ‚ΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π±Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΉ, Π²Π°ΠΊΡ†ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ Ρ‚.Π΄.). Π’Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ насосами ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚ растворитСли ΠΈΠ· вСщСств, Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… нагрСвания (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π²Π·Ρ€Ρ‹Π²Ρ‡Π°Ρ‚Ρ‹Π΅ вСщСства), ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ растворов.