Π§ΠΈΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Π½Π° Bookidrom.ru! БСсплатныС ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠ»ΠΈΠΊΠ΅

Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ «НСизвСстный Π°Π»ΠΌΠ°Π·. «АртСфакты» Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈΒ». Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° 5

Автор Π’Π»Π°Π΄ΠΈΠΌΠΈΡ€ ΠšΠ°Ρ€Π°ΡΠ΅Π²

На рис. 2.12Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ пластины ΠΈΠ· синтСтичСского Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. Π’ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ Π²ΠΈΠ΄Π½Π° Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ типичная ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Π° Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… напряТСний Π² ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΌ соотвСтствии с кристаллографиСй кристалла. Π‘Π²Π΅Ρ‚Π»Ρ‹Π΅ области Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ мСста располоТСния Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠΈ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Ρ‹ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ напряТСниями ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π΅ высокой скорости роста кристалла Π² Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ синтСза. На рис. 2.12Π± ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π±Ρ€Π° пластины.

Рис. 2.12. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π° синтСтичСского Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (Π°), Ρ€Π΅Π±Ρ€ΠΎ пластины (Π±)

Рис. 2.13. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π° синтСтичСского Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (a) ΠΈ трансформированноС Ρ€Π΅Π±Ρ€ΠΎ послС воздСйствия (Π±)

Π­Ρ‚Π° пластина Π±Ρ‹Π»Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π° ΠΏΠΎ слоТному Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΡƒ. Π‘ΡƒΡ‚ΡŒ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π»Π°ΡΡŒ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ. ПослС воздСйствия ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠ° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ пластины ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокочастотный Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌ задавался Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΠ»Π°ΡΡŒ ΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ„Π°Π· Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ. Для ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ повСрхности пластины слоТный Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π» ΠΏΡΡ‚ΡŒ простых Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠΎΠ², синхронизированных ΠΏΠΎ этому ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΡƒ (ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΡƒ кратности Ρ„Π°Π·). ВСрхняя ΠΈ ниТняя плоскости ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌΡƒ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ. Π’ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ кристалла Но ΠΎΠ±Π΅ΠΈΠΌ плоскостям Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΈΡ… ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ… ΠΆΠ΅ условиях. На рис. 2.13 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ пластины послС Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ воздСйствия.

Π‘Ρ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ рис. 2.12 ΠΈ 2.13 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ измСнСния Π² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ пластинС. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС нас интСрСсуСт трансформация Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π±Π΅Ρ€ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΊΠΈΡ… Β«ΠΆΠ΅Π»ΠΎΠ±ΠΊΠΎΠ²Β» Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ Ρ€Π΅Π±Ρ€Π΅. По всСй видимости, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ протСкания Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… процСссов Π² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ пластинС Π±Ρ‹Π» Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ обусловлСн Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ кристалла ΠΈ созданиСм Β«ΡˆΡƒΠ±Ρ‹Β» Π½Π° ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ… повСрхностях.

ДинамичСская волновая срСда Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ Π±Ρ‹ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ «кондСнсатора», Π³Π΄Π΅ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈΠ³Ρ€Π°Π»Π° Β«ΡˆΡƒΠ±Π°Β». Π’ этом случаС концСнтрация высокочастотной Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ энСргии особо ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ Π½Π° Ρ€Π΅Π±Ρ€Π°Ρ…. ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠΉ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ измСнСния Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ состояния пластины Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² поляризованном свСтС (рис. 2.14).

ΠŸΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ΠΉ слоТный Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ большС Π½Π΅ примСнялся Π½Π°ΠΌΠΈ для обьиной ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… пластин. Волько ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Ρ€Π°Π· Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… экспСримСнтах Π±Ρ‹Π» ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ для синтСтичСских пластин Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CVD (Chemical vapor deposition – химичСская кристаллизация Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (кристаллизация ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Ρ‹)). И Π² этот Ρ€Π°Π· Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ процСссы проявили сСбя ΠΏΠΎ-Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌΡƒ.

Нами Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ Ρ‚Ρ€ΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ пластины, Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CVD, с ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ… сторон Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½Ρ‹ΠΌ слоТным Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠΎΠΌ. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ воздСйствия Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ пластин измСнились. Π”Π²Π΅ пластины ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ Π² Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ Π½Π° ~60 ΠΌΠΊΠΌ, Π° Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΡ пластина стала Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰Π΅ Π½Π° ~75 ΠΌΠΊΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ этом общая масса пластин ΠΎΡΡ‚Π°Π»Π°ΡΡŒ Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ.

Рис. 2.14. ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Π°Ρ пластина Π² поляризованном свСтС

Π’Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСрСния Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ… сторон пластин ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΈΡ… Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ². ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ прСдставляли собой ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ, Ρ‚. Π΅. Π΄Π»ΠΈΠ½Π° пластины строго Ρ€Π°Π²Π½ΡΠ»Π°ΡΡŒ Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅. ОбъСм пластин ΠΏΡ€ΠΈ этом остался Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ.

На послСднСй пластинС, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²ΡˆΠ΅ΠΉΡΡ Π² Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ Π½Π° ~ 7 5 ΠΌΠΊΠΌ, Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ Π΅Π΅ объСма наблюдалась бСлая полупрозрачная, словно Ρ‚ΡƒΠΌΠ°Π½, ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ – рассСяниС свСта Π½Π° флуктуациях плотности. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ явлСниС называСтся опалСсцСнция [16]. ΠŸΡ€ΠΈ критичСской опалСсцСнции свСт ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· вСщСство, Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡΡΡŒ Π²ΠΎ всС стороны. ВСщСство Π² критичСской области Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… Ρ„Π»ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΠ°Ρ†ΠΈΠΉ плотности ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΡƒΡ‚Π½ΠΎ-Π±Π΅Π»ΡƒΡŽ окраску, Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π» ΠΎΠΏΠ°Π», ΠΎΡ‚ΡΡŽΠ΄Π° это явлСниС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ опалСсцСнция.

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½, Π³Π΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Π² объСм Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΏΡ€ΠΈ соприкосновСнии с инструмСнтом, являСтся Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π°. На повСрхности инструмСнта (ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ) происходит ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ распрСдСлСниС этих Π·Π΅Ρ€Π΅Π½ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ этого Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π° Π² объСмС Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ слоя. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, учитывая ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ вращСния инструмСнта, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ΅ Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π°, имСя ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ пространствСнныС ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ Π² плоскости инструмСнта, с ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ взаимодСйствуСт с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ΅ Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ являСтся источником Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹, Ρ‚ΠΎ Π² этом случаС ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Π½ΡƒΡŽ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ Π²ΠΎΠ»Π½ Π² объСм Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΏΡ€ΠΈ взаимодСйствии этих Π·Π΅Ρ€Π΅Π½ с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ кристалла. Π₯Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ этой Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌ случаС носит ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡˆΡƒΠΌΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€. Π’ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ происходит.

Π’ нашСм случаС колСбания Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ инструмСнта (частота ß) Π² строго ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ (Π³a) ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΡ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ скорости двиТСния инструмСнта ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (Ξ”V). ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ колСбания инструмСнта (частота ß) происходят с Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ мСньшСй частотой, ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с частотой касания ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅Ρ€Π½Π° Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π°, Ρ‚ΠΎ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ измСнСния скорости (см. рис. 1.1) ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΊΡƒΡŽ частотно-ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ воздСйствия Π½Π° кристалл. А условия строгого постоянства Ξ”V ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΡ‚ самый ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ образования ΠΊΠΎΠ³Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΉ Π² объСмС Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°.

Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ кристалла ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ взаимодСйствиСм довольно слоТных Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ инструмСнта ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°? Π’ Ρ€Π°ΠΌΠΊΠ°Ρ… ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… прСдставлСний Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ описаниС Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ смысла, ΠΈΠ±ΠΎ Π² примСняСмых соврСмСнных тСхнологиях взаимодСйствиС этих Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ смысла Π½Π΅ нСсСт (прямая линия Π½Π° рис. 1.1). И ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ взаимодСйствия Π² кристаллС Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° Π² Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½Ρ‰ΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ Π² состоянии, поэтому ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π°Π»ΠΌΠ°Π· Π±Π΅Π· ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚Π° этих взаимодСйствий. Π’ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ процСсс Π² этом случаС нСуправляСмый ΠΈ относится ΠΊ области ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡˆΡƒΠΌΠΎΠ² с Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния Ρ„ΠΎΠ½ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ подсистСмы кристалла (ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹). Π’ качСствС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π° нашСго Β«Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎΒ» Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ воздСйствия ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρƒ ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΠΈΠ· ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠ° трансформации кристалла. ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠΉ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌ ΠΎΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ ΠΈ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ смысла. А Π²ΠΎΡ‚ ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ изюминок я с ΡƒΠ΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡŒΡΡ‚Π²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΠΈΡˆΡƒ.

Как ΡƒΠΆΠ΅ ΡΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ξ”V являСтся константой ΠΈ строго зависит ΠΎΡ‚ (Π³a). Π­Ρ‚ΠΎ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ ΠΈ Π² процСссС воздСйствия Π½Π΅ мСняСтся. А ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ Π² процСссС воздСйствия ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ (Ξ”V) ΠΏΠΎΠ²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ?

ЭксцСнтричноС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ оси Ξ± Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ оси ß ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ двумя путями:: Π»ΠΈΠ±ΠΎ это ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ инструмСнта ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎ (Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ происходит Π² ΠΎΠ΄Π½Ρƒ сторону), Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… направлСниях. И Π² этом случаС проявляСтся ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚: Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡΡΡŒ Π² ΠΎΠ΄Π½Ρƒ сторону, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ двиТСния ΠΏΠΎ оси ß дополняСт ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ вращСния ΠΏΠΎ оси Ξ±. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ξ”V ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΡ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ (Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ увСличиваСтся).

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΌ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ эффСкт, ΠΈ Ξ”V Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ. Π’Ρ€ΠΎΠ΄Π΅ Π±Ρ‹ ΠΎΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡ‚, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ нашСм пСриодичСском Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ воздСйствии Π½Π° Π°Π»ΠΌΠ°Π· этот Ρ„Π°ΠΊΡ‚ (ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠΈ) Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ влияСт Π½Π° Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. И это влияниС проявляСтся Π²ΠΎ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… эффСктах, ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ повСрхности, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ объСмной Ρ„Π»ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ структуры Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΡΡ возмоТности нашСй Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

Π’ качСствС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρƒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ двиТСния ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ (ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅Ρ€Π½Π° Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π°) Π½Π° повСрхности инструмСнта (области окруТности, описываСмой осью Β«Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ оси ß). Π₯Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ этого двиТСния фиксируСтся нашим ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€ΠΎΠΌ Π²ΠΎ врСмя Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ систСмы. Π‘ΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ частот Ξ± ΠΈ ß Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡΡ‚ΠΈΠ»Π΅ΠΏΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Ρƒ.

ΠœΠ°Ρ‚Π΅ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ эту Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡŽ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡŽ эпициклоиды. Π•Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ понятно, ΠΈΠ±ΠΎ это эффСкт эксцСнтричного двиТСния оси Ξ± Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ оси ß Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ [17].

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° – ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠΏΠΎΡ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΈΠ΄Ρ‹. ΠšΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ частот строго соблюдСна. ВсС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ двиТСния сохранСны, Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ поставлСн Π·Π½Π°ΠΊ (β€”) Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² направлСния двиТСния инструмСнта. ДвиТСния оси Ξ± Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ оси ß Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅.

Π’ этом случаС происходит Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ AV, Π½ΠΎ ΠΈ сущСствСнноС ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π° Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ воздСйствия Π½Π° кристалл Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ инструмСнта. А это отраТаСтся, Π² свою ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, Π½Π° Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°.

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌ с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ основного Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠ° воздСйствия ΠΈ Π±Ρ‹Π» Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΡƒΠΌΠ°Π½Π° опалСсцСнции Π² объСмС CVD кристалла. ΠšΡ€Π°ΡΠΈΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΈ элСгантный ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΡ‡ΠΈΠΊ, ΠΏΡ€Π°Π²Π΄Π°? И дСлаСтся простым Π½Π°ΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°Π»ΡŒΡ†Π° ΠΏΠΎ клавиатурС…