ΠΠ° ΡΠΈΡ. 2.12Π° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΈΠ· ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. Π ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Π½Π° Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Π° Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. Π‘Π²Π΅ΡΠ»ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π²ΠΎΠΊΡΡΠ³ ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ Π²ΡΠ·Π²Π°Π½Ρ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π² Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π°. ΠΠ° ΡΠΈΡ. 2.12Π± ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ.
Π ΠΈΡ. 2.12. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (Π°), ΡΠ΅Π±ΡΠΎ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ (Π±)
Π ΠΈΡ. 2.13. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (a) ΠΈ ΡΡΠ°Π½ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅Π±ΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ (Π±)
ΠΡΠ° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° Π±ΡΠ»Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° ΠΏΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΌΡ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΡ. Π‘ΡΡΡ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π»Π°ΡΡ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌ Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π»ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ»Π°ΡΡ ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π· Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ. ΠΠ»Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΉ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π» ΠΏΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠΎΠ², ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ (ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π·). ΠΠ΅ΡΡ Π½ΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ. ΠΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΠΈΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΡΠΌ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ ΠΆΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ . ΠΠ° ΡΠΈΡ. 2.13 ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ.
Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡ. 2.12 ΠΈ 2.13 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·ΠΎΡΠ΅Π΄ΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅. Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π½Π°Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Π±Π΅Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΊΠΈΡ Β«ΠΆΠ΅Π»ΠΎΠ±ΠΊΠΎΠ²Β» Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π±ΡΠ΅. ΠΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅ Π±ΡΠ» Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Β«ΡΡΠ±ΡΒ» Π½Π° ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ .
ΠΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π±Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Β«ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ°Β», Π³Π΄Π΅ ΡΠΎΠ»Ρ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈΠ³ΡΠ°Π»Π° Β«ΡΡΠ±Π°Β». Π ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ²ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π½Π° ΡΠ΅Π±ΡΠ°Ρ . ΠΠ±ΡΠΈΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅ (ΡΠΈΡ. 2.14).
ΠΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΉ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΡΡ Π½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½. Π’ΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ°Π· Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ Π±ΡΠ» ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CVD (Chemical vapor deposition β Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ)). Π Π² ΡΡΠΎΡ ΡΠ°Π· Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΠΎ-Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌΡ.
ΠΠ°ΠΌΠΈ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ ΡΡΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±ΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CVD, Ρ ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½ Π²ΡΡΠ΅ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠΎΠΌ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠ»ΠΈΡΡ. ΠΠ²Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ»ΠΈΡΡ Π² ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π½Π° ~60 ΠΌΠΊΠΌ, Π° ΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠ°Π»Π° ΡΠΎΠ»ΡΠ΅ Π½Π° ~75 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΎΡΡΠ°Π»Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ.
Π ΠΈΡ. 2.14. ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅
Π’ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ Π³Π°Π±Π°ΡΠΈΡΠΎΠ². ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±ΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΡ, Ρ. Π΅. Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π²Π½ΡΠ»Π°ΡΡ Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅. ΠΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΡ Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ.
ΠΠ° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅, ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²ΡΠ΅ΠΉΡΡ Π² ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π½Π° ~ 7 5 ΠΌΠΊΠΌ, Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ° Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π»Π°ΡΡ Π±Π΅Π»Π°Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½Π°Ρ, ΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎ ΡΡΠΌΠ°Π½, ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ β ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π½Π° ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠΏΠ°Π»Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ [16]. ΠΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ°Π»Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΎ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡΡΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ. ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π² ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΠΌΡΡΠ½ΠΎ-Π±Π΅Π»ΡΡ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΡ, Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΡΡ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π» ΠΎΠΏΠ°Π», ΠΎΡΡΡΠ΄Π° ΡΡΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ°Π»Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ.
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½, Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π·Π΅ΡΠ½ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π°. ΠΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° (ΠΏΡΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ) ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ Π·Π΅ΡΠ΅Π½ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π° Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ΅ Π·Π΅ΡΠ½ΠΎ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π°, ΠΈΠΌΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΡ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ΅ Π·Π΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΡΠΎ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ»Π½ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΏΡΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΡΠΈΡ Π·Π΅ΡΠ΅Π½ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. Π₯Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΠΉ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π½ΠΎΡΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΡΠΌΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ. Π ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ.
Π Π½Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° (ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ° Γ) Π² ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ (Π³a) ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (ΞV). ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° (ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ° Γ) ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ Ρ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΎΠΉ, ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅ΡΠ½Π° Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π°, ΡΠΎ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ (ΡΠΌ. ΡΠΈΡ. 1.1) ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΊΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎ-ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π½Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π». Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΡΡΠ²Π° ΞV ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΡΠΎΡ ΡΠ°ΠΌΡΠΉ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°.
ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΎΠΏΠΈΡΠ°ΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°? Π ΡΠ°ΠΌΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΌΡΡΠ»Π°, ΠΈΠ±ΠΎ Π² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΠΌΡΡΠ»Π° Π½Π΅ Π½Π΅ΡΠ΅Ρ (ΠΏΡΡΠΌΠ°Ρ Π»ΠΈΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΡΠΈΡ. 1.1). Π ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° Π² ΡΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ Π² ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π· Π±Π΅Π· ΡΡΠ΅ΡΠ° ΡΡΠΈΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ. ΠΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π½Π΅ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΌΠΎΠ² Ρ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° (ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ). Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° Π½Π°ΡΠ΅Π³ΠΎ Β«ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎΒ» Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΈΠ· ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° ΡΡΠ°Π½ΡΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ±ΡΠΈΠΉ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ ΠΈ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΌΡΡΠ»Π°. Π Π²ΠΎΡ ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·ΡΠΌΠΈΠ½ΠΎΠΊ Ρ Ρ ΡΠ΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΠΈΡΡ.
ΠΠ°ΠΊ ΡΠΆΠ΅ ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π»ΠΎΡΡ Π²ΡΡΠ΅, ΞV ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°Π½ΡΠΎΠΉ ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ (Π³a). ΠΡΠΎ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ. Π ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ (ΞV) ΠΏΠΎΠ²Π»ΠΈΡΡΡ?
ΠΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΈ Ξ± Π²ΠΎΠΊΡΡΠ³ ΠΎΡΠΈ Γ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΠΏΡΡΡΠΌΠΈ:: Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎ (Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΠΎΠ΄Π½Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ), Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² ΡΠ°Π·Π½ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ . Π Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ: Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΎΡΠΈ Γ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΎΡΠΈ Ξ±. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΞV ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΏΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ).
ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΌ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ, ΠΈ ΞV Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ. ΠΡΠΎΠ΄Π΅ Π±Ρ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΡ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π½Π° Π°Π»ΠΌΠ°Π· ΡΡΠΎΡ ΡΠ°ΠΊΡ (ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ) Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. Π ΡΡΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ°Ρ , ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π°ΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½ΠΊΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ (ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅ΡΠ½Π° Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π°) Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° (ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΎΡΡΡ Β«Π²ΠΎΠΊΡΡΠ³ ΠΎΡΠΈ Γ). Π₯Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΡΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ. Π‘ΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ Ξ± ΠΈ Γ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΠΊΡΡ ΠΏΡΡΠΈΠ»Π΅ΠΏΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΠ³ΡΡΡ.
ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΡ ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠΏΠΈΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΈΠ΄Ρ. ΠΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠ½ΠΎ, ΠΈΠ±ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΡΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΈ Ξ± Π²ΠΎΠΊΡΡΠ³ ΠΎΡΠΈ Γ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ [17].
Π‘Π»Π΅Π΄ΡΡΡΠ°Ρ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½ΠΊΠ° β ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠΏΠΎΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΈΠ΄Ρ. ΠΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½Π°. ΠΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½Ρ, ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ Π·Π½Π°ΠΊ (β) Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΠ²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΈ Ξ± Π²ΠΎΠΊΡΡΠ³ ΠΎΡΠΈ Γ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅.
Π ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ AV, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ° Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π½Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. Π ΡΡΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ, Π² ΡΠ²ΠΎΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°.
ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌ Ρ ΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΈ Π±ΡΠ» ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΌΠ°Π½Π° ΠΎΠΏΠ°Π»Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ΅ CVD ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΡΠ°ΡΠΈΠ²ΡΠΉ ΠΈ ΡΠ»Π΅Π³Π°Π½ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΡΠΈΠΊ, ΠΏΡΠ°Π²Π΄Π°? Π Π΄Π΅Π»Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠΌ Π½Π°ΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°Π»ΡΡΠ° ΠΏΠΎ ΠΊΠ»Π°Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠ΅β¦