Π§ΠΈΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Π½Π° Bookidrom.ru! БСсплатныС ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠ»ΠΈΠΊΠ΅

Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ «НанотСхнологии. Наука, ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ возмоТности». Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° 70

Автор Π›ΠΈΠ½Π½ ЀостСр

15.3. Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°

АксСль Π§Π΅Ρ€Π΅Ρ€ ΠŸΡ€ΠΎΡ„Π΅ΡΡΠΎΡ€ АксСль Π§Π΅Ρ€Π΅Ρ€ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚ Π² ΠšΠ°Π»ΠΈΡ„ΠΎΡ€Π½ΠΈΠΉΡΠΊΠΎΠΌ тСхнологичСском институтС. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ² Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ Π² 1985 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ, ΠΎΠ½ спСциализировался Π½Π° ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ микроустройств ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π» 8 Π»Π΅Ρ‚ Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ„ΠΈΡ€ΠΌΡ‹ Bellcore, занимавшСмся Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ производством ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… устройств ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ². Π’ дальнСйшСм ΠΎΠ½ стал извСстным спСциалистом ΠΏΠΎ микроскопичСской ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅, создав ΠΊΡ€ΠΎΡˆΠ΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Ρ‹ с Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ (ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 400 Π½ΠΌ), ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ структуры травлСния (Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ ~6 Π½ΠΌ), Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΡƒΠ·ΠΊΠΈΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ (с шагом ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 30 Π½ΠΌ). ВозглавляСмая ΠΈΠΌ лаборатория создаСт наноструктуры, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ новСйшиС оптоэлСктронныС ΠΈ магнСтооптичСскиС устройства ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ ΠΈΡ… с ΡƒΠΆΠ΅ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ устройствами ΠΈ систСмами.

Π’ послСдниС Π³ΠΎΠ΄Ρ‹ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° стала всС Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² качСствС Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Ρ‹ элСктроникС Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… отраслях Π½Π°ΡƒΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ, связанных с коммуникациями ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ тСхнологиями. Π­Ρ‚Ρƒ Ρ‚Π΅Π½Π΄Π΅Π½Ρ†ΠΈΡŽ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ использованиС Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΎΠ² вмСсто элСктронов Π² процСссах ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ создаСт сущСствСнныС прСимущСства, ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго, вслСдствиС быстродСйствия ΠΈ помСхоустойчивости Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠ² связи. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ интСрСса исслСдоватСлСй ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ² стала быстрая ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ мноТСства оптичСских устройств (Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅Ρ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚. Π΄.). На этой основС ΡƒΠΆΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»Π° мощная ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΡΠ»ΡŒ производства, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰Π°Ρ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ устройства Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° с Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ структур ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 100 Π½ΠΌ ΠΈ мСньшС. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ², занятых Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… устройств, ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ часто Π²Π΄ΠΎΡ…Π½ΠΎΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅ ΠΆΠ΅ ΠΈΠ΄Π΅ΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅Π½Π΄Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΈ, Π½Π° основС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… происходила ΠΈ происходит ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ элСктронной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ.

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ устройства Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ прСвосходят ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ ΠΏΠΎ Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ·Π±Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΡ‚ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… слоТностСй, связанных с Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ элСктропитаниСм. Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, слабым мСстом ΠΈ источником постоянного бСспокойства ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π»ΡŽΠ±Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ устройств Π½Π° основС Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΈ остаСтся обСспСчСниС надСТности элСктрооптичСских ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ элСктричСскиС сигналы Π² оптичСскиС ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ. РСшСниС ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ быстрого ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ прСобразования Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… сигналов ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΎ Π±Ρ‹ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ для коммСрчСского прилоТСния ΠΈ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π² Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, эта Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° прСдставляСт особый интСрСс для примСнСния Π² Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ сфСрС, Π³Π΄Π΅ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° рассматриваСтся Π² качСствС вСсьма пСрспСктивного направлСния развития ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… отраслСй (срСдства связи, Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ€Π°Π΄Π°Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚. Π΄.), Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… трСбуСтся быстрая ΠΈ надСТная ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… массивов оптичСской ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

Для внСдрСния Π² ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΡƒ послСдних достиТСний Π² области ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ оптоэлСктроники Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ достаточно Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ источники свСта многочастотного Ρ‚ΠΈΠΏΠ°. Π Π΅Ρ‡ΡŒ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ Π½Π΅ ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ возмоТности ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ эффСктивности, Π° ΠΎ чисто тСхничСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π°Ρ… создания Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ устройств. Π£ΠΆΠ΅ сСйчас ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… КМОП-структур Π² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ возмоТности уплотнСния, рСгулирования ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ большого числа ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² оптичСской ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΌ Ρ‡ΠΈΠΏΠ΅, Π° дальнСйшСС Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ этой области Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ создания ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ поколСния микропроцСссоров, снабТСнных оптоэлСктронными ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡΠΌΠΈ. НСкоторого сниТСния стоимости Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ внСдрСния оптичСских Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ· ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ‚ΠΈΠΏΠ° SOI (silicon on insulator, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π° изоляторС), способных Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° GaAS, InP ΠΈ Π½ΠΈΠΎΠ±Π°Ρ‚Π° лития LiNbO5, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ сСйчас Π² Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… устройствах.

Π“Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ нСдостатками ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ оптоэлСктроники ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ значСния коэффициСнтов усилСния сигнала ΠΈ эффСктивности свСтового излучСния ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‡ΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ. Π˜ΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΈ срСдств, ΠΏΡ‹Ρ‚Π°ΡΡΡŒ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ достаточно эффСктивныС Π»Π°Π·Π΅Ρ€Ρ‹ Π½Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… кристаллах, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, ΠΊ соТалСнию, ΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΡΠ΅Ρ€ΡŒΠ΅Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ успСха, хотя Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π² Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ пСрспСктивных направлСниях (усилСниС Π² пористом ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ, созданиС Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ· Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ эрбиСм крСмния) ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ.

ИздСлия ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»Ρ‹, ΠΈ поэтому ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΠΈΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΡ€Ρ‹) ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Β«Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΒ» Π² ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ элСктронныС Ρ‡ΠΈΠΏΡ‹, Π½Π΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ°Ρ плотности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. Π’ настоящСС врСмя ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ оптичСскиС наноустройства ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° основС стандартных ΠΈ Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ (Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π° изоляторС, арсСнид галлия ΠΈ фосфид индия), поэтому Π½Π°Π½ΠΎΡ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° развиваСтся Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ Π·Π° счСт сочСтания Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивным ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΡ… прСимущСства. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… оптичСских устройств ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½Ρ‹ Π·Π° счСт Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‹ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (стСкло, Π½ΠΈΠΎΠ±Π°Ρ‚ лития) Π½Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, арсСнид галлия, фосфид индия. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ свСрхмалыС оптичСскиС устройства ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² дальнСйшСм ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ‹ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡƒΡŽ систСму, Ρ‡Ρ‚ΠΎ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ Π²ΠΎΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π² Тизнь ΠΌΠ΅Ρ‡Ρ‚Ρƒ спСциалистов ΠΏΠΎ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ тСхнологиям ΠΎ создании эффСктивного ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ оптичСского устройства ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Ρ‡ΠΈΠΏΠ΅. Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ устройства ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚, ΠΊΠ°ΠΊ ΡƒΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° основС ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΡ… Π² ΡƒΠΆΠ΅ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹, создавая Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ элСктронно-Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ систСмы с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ слоТной структурой.

Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ использования Π² Π½Π°Π½ΠΎΡ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ кристалличСских пластин ΠΈΠ· крСмния Π½Π° изоляторС ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, Ссли Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ вСсьма Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ элСктроники. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π½Π° основС Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ оптичСскиС наноустройства (Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹, Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Ρ‹, Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Ρ‹, модуляторы, Π΄Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.) ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π² ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ систСмы Π½Π° Ρ‡ΠΈΠΏΠ°Ρ…, Π½Π΅ говоря ΡƒΠΆΠ΅ ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡ… ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΈ быстро Π²Π½Π΅Π΄Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ Π² производство. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ устройства ΠΎΠ±Π΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ возмоТности ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… схСм с КМОП-структурами, особСнно ΠΏΡ€ΠΈ создании высокоэффСктивных транзисторов.

ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ тСхничСской ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ являСтся Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² с синхронизированными ΠΌΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ сигналы Π½Π° большом числС частот с высокой Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Π’ оптичСских Ρ‡ΠΈΠΏΠ°Ρ… с пассивной Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ сильно искаТаСтся ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ (Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вносимыС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ, ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π² Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°Ρ…, Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°Ρ… ΠΈ Ρ‚. Π΄.), вслСдствиС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° для Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… устройств ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² усилСния Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ сигнала ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ. НадСТная ΠΈ качСствСнная синхронизация ΠΌΠΎΠ΄ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ использования Π² схСмах Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² с высокой Π΄ΠΎΠ±Ρ€ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ высококачСствСнных оптичСских модуляторов, ΠΈ эти устройства ΡƒΠΆΠ΅ сСйчас практичСски ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ созданы Π² Ρ‡ΠΈΠΏΠ°Ρ… ΠΈΠ· крСмния Π½Π° изоляторС. Π’ сущности, сСгодня Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ всС основы для создания ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… устройств, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² сСбя Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΉ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ свСта с синхронизациСй ΠΌΠΎΠ΄, ΠΈ Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ остаСтся усилСниС сигналов Π² оптичСском Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. ΠšΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π² этом Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ остаСтся созданиС многочастотного источника оптичСского излучСния, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ с систСмой ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π² Ρ€Π°ΠΌΠΊΠ°Ρ… Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ оптоэлСктронного Ρ‡ΠΈΠΏΠ°.

Π’ самоС послСднСС врСмя Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ исслСдоватСлСй ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Ρ‹, изготовляСмыС Π½Π° основС оптичСской связи дисковых ΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΡŒΡ†Π΅Π²Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ². НовыС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ оказались эффСктивными для стСклянных свСтоводов Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ², Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ составныС (оптичСскиС Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½Π° с Π½Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ микросфСр). Π“Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ°, возглавляСмая Π›ΠΈΡ‚Ρ‚Π»ΠΎΠΌ, Π½Π΅Π΄Π°Π²Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π»Π° устройство Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ слоТной Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ (8 Ρ… 8) с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΉ, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π½Π°Π΄ свСтоводами Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Ρ‹ диски ΠΈΠ· стСкла с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высоким ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ прСломлСния. Вакая конструкция позволяСт ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ высокиС значСния коэффициСнта Q (добротности), Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ оптичСскиС Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Ρ‹ с высоким ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.

ΠœΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ устройств, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… связь ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ дисками Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ 150–500 Π½ΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΡƒΠΆΠ΅ сСйчас ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° основС Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚Ρ‹Ρ… литографичСских Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, с использованиСм ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ излучСния, элСктронных ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.). Π”Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΠΉ прогрСсс Π² области практичСского примСнСния Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… устройств зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, удастся Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ для ΠΈΡ… производства Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСнныС, Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ простыС литографичСскиС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ достаточноС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅.