13.2. ΠΠ°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ
Π¨Π΅ΡΠΈΠ» ΠΡΠΌΠ°Π½ Π¨Π΅ΡΠΈΠ» ΠΡΠΌΠ°Π½ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΄Π°ΡΡΠΈΠΌΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ. ΠΠ±Π»Π°ΡΡΡ Π΅Π΅ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² Π½ΠΎΠ²Π΅ΠΉΡΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ (Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΡ ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠ°, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π»ΡΠ΄Π° ΠΈ Ρ. ΠΏ.). Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ Π² ΠΡΡΠΈΠ»Π΅Π½Π΄ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ.Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ Π²ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ (ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Ρ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 100 Π½ΠΌ). ΠΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΆΠ΅ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΡΡΠ°Π»ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΈ Π½Π΅ΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΡΠΌ ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠ½ΠΊΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ². ΠΠ°ΠΊ Π²ΡΡΡΠ½ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠΊΠΈ Π½Π°ΡΠΊΠΈ, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ (ΡΠ°Π·ΡΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ, Π±Π΅Π· Π²ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ) Π΅ΡΠ΅ Π² Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ Π΄ΡΠ΅Π²Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΡΠΎΡΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠ° Π΄ΡΠ΅Π²Π½Π΅ΡΠΈΠΌΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΡΠ½Π½ΡΡ Π²Π°Π· ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠ»Π°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° [55] . Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ Π½Π° ΡΠ³ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΠΆΡ, Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ°ΡΡΡΠ°Π±Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΆΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° Π²Π½ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Ρ: Π² 2000 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ Π΅Π΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ» 6 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠΎΠ½Π½ [56] . ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌ Π΄ΠΈΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° (ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ Ρ. Π΄.) ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ². ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΈΠΌ Π²ΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ Π² ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ Π½Π° ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ Ρ Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ, ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅.
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 13.1 ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ (Π΄Π»Ρ Π½Π°Π³Π»ΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ) ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡΡΠΏΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°.
Π ΠΈΡ. 13.1. Π§Π°ΡΡΠΈΡΠ° TiO2 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°, ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΈΠ· Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ (ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ΡΠΈΡΠΌΠΎΠΉ Altair Nanotechnologies, Inc.)
13.2.1. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ
ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ Π½Π°Π²Π΅ΡΠ½ΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠΌΠ½ΡΡ, ΡΡΠΎ Π΅ΡΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π»Π΅Ρ Π½Π°Π·Π°Π΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡ Π·Π°Π³Π°ΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ» ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎ-Π±Π΅Π»ΡΡ ΠΌΠ°Π·Ρ, ΡΠ²Π΅Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΠ»ΡΡ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π½Π΅ΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°Π»ΠΈ Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠΆΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΡ, Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅ΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ Π² ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π²Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎ-ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ½Π΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, Π½ΠΎ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π£Π€-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°. ΠΠΎΠ·Π΄Π½Π΅Π΅ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΈΡ ΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π±Π΅Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ (Π΄Π²ΡΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°), ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠ°Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π° Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΈ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡ Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ [57] .
ΠΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π΄Π²ΡΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΠΈΠΌ Π½Π°ΠΉΡΠΈ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΡΠΌΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΠ»ΠΎΡΡ, ΡΡΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π΄Π²ΡΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠΌΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠ²Π΅Ρ Π² ΡΡΡΡΡΠΈ ΡΠ°Π· (!) ΡΠΈΠ»ΡΠ½Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ , ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° [58] , Π½Π΅ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΡ ΡΠΆΠ΅ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ Ρ ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. Π‘Π΅ΠΉΡΠ°Ρ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° Π²ΡΠ΅ ΡΠΈΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠ°Π»Π° ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ° Π² ΠΠ²ΡΡΡΠ°Π»ΠΈΠΈ (2001 Π³ΠΎΠ΄) [59] .
ΠΡΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠ½ΠΎΠΊ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΎΠΉ. Π Π΅ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ (chemical mechanical planarization, CMP) Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² (ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ), ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Β«ΡΠ°Π·ΠΌΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡΒ» ΠΏΠΎ ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌ (Π΄ΠΎ 300 ΠΌΠΌ) ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Ρ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΌΡΡΠ»ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ! Π Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Β«ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡΒ» Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ΅ΡΠΈΡ), Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ½ΠΊΠ° ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CMP, Π²ΡΡΠΎΡ Ρ 250 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ² Π² 1996 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π΄ΠΎ 1 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄Π° Π² 2000 Π³ΠΎΠ΄Ρ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° CMP (ΡΡΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ), Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, ΡΡΠ°Π»ΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΠ½ΠΊΠ° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ Π² 2005 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ» ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 800 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ² [60] . Π£ΡΠΈΡΡΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ½ΠΎΠΊ ΡΠΎΠ²Π°ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΠ»ΡΠ³, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΡ Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ CMP, Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ.
Π£ΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΊ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΈ ΡΠΆΠ΅ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ, Π½ΠΎ ΡΡΠΎΠΈΡ ΡΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ° ΠΠΎΠ» ΠΠ»ΠΈΠ²ΠΈΡΠ°ΡΠΎΡ (ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅Ρ, ΠΠ΅ΡΠΊΠ»ΠΈ) ΠΈ ΠΡΠ½Π΄ΠΆΠΈ ΠΠ°Π²Π΅Π½Π΄ΠΈ (ΠΠ°ΡΡΠ°ΡΡΡΠ΅ΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅Ρ) ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠ΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΄Π° ΠΊΠ°Π΄ΠΌΠΈΡ (CdSe) ΠΈ ΡΠ΅Π»Π»ΡΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΠ°Π΄ΠΌΠΈΡ (TeSe). Π§Π°ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ², ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΡΠ»ΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠ²Π΅Ρ Π² ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ²Π΅Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΌΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ (Π½Π° ΡΠ»ΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΡ ) ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΈ ΡΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ Ρ Π±Π΅Π»ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ»ΠΈΠ³ΠΎΠ½ΡΠΊΠ»Π΅ΠΎΡΠΈΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΈ Π±ΠΈΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»ΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΡ Β«ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΊΒ» [61] . ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 4 Π½ΠΌ) Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈΡΡ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΡΠ»ΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΈΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ [62] . [ΠΠ°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΡΡ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Ρ. ΠΏ. Π§ΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΠΈΡΡΡΡ Ρ ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π² ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ Π€. ΠΠΎΠ»Π»Π° Β«ΠΠΎΠ²Π°Ρ Π°Π»Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΒ» Π² ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π΅ Β«Π₯ΠΈΠΌΠΈΡ ΠΈ ΠΆΠΈΠ·Π½ΡΒ», β 1, 2006. ΠΡΠΈΠΌ. ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π². ]
Π‘ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΈΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, Π½ΠΎ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° (Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ), ΡΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°. ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π² ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ΅ΡΠΈΡ Π² Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ (Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠ»Π°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ²) Π² ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡ (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 0,2β0,9 Π°Ρ. %) ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π° [63] , ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π²ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² Π΄Π²ΡΠΎΠΊΠΈΡΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄. ΠΡΠ° ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ Π² ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π° ΡΠ³Π»Π΅Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ ΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ. ΠΠ°Π²Π½Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π±ΡΠ»ΠΎ Π΄ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ° Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π½Π΅ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Β«ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΄ΠΎΠΌΒ» ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Ρ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎ Ρ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π±Π»Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π΄ΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎ Π΄ΠΎ 10 Π°Ρ. %.