Π§ΠΈΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Π½Π° Bookidrom.ru! БСсплатныС ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠ»ΠΈΠΊΠ΅

Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Β«Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ°Ρ БовСтская ЭнциклопСдия (ЀО)Β». Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° 89

Автор Π‘Π‘Π­ Π‘Π‘Π­

  Для изготовлСния Π€. ΠΏ. Ρ„. ΠΈΠ· Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… ЀПК ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ листы с нанСсённым Π½Π° Π½ΠΈΡ… слоСм ЀПК Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,4–0,5 ΠΌΠΌ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ получСния Π€. ΠΏ. Ρ„. состоит ΠΈΠ· экспонирования Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π°, вымывания Π½Π΅Π·Π°ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΠ΅Π³ΠΎΡΡ слоя Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… участках ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹.

  Для изготовлСния Π€. ΠΏ. Ρ„. ΠΈΠ· ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΡ… ЀПК Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ устройство (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΊΡŽΠ²Π΅Ρ‚Π° ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ бСсцвСтного стСкла) ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ², Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ бСсцвСтной ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Π·Π°Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ЀПК. ПослС этого производят экспонированиС с Π΄Π²ΡƒΡ… сторон, Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ‡Π΅Π³ΠΎ со стороны Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΠΈΠ΅ΡΡ (Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄Ρ‹Π΅) ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ элСмСнты, Π° с ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ стороны – ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ струСй растворитСля Π²Ρ‹ΠΌΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅Π·Π°ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΡƒΡŽΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΡŽ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ Π²Ρ‹ΡΡƒΡˆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ.

  Π€. ΠΏ. Ρ„. (часто Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°ΠΌΠΈ) ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ для пСчатания ΠΆΡƒΡ€Π½Π°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠ½ΠΈΠ³, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС с Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡΠΌΠΈ. Они просты Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ массу, Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ‚ΠΈΡ€Π°ΠΆΠ΅ΡƒΡΡ‚ΠΎΠΉΡ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒ (Π΄ΠΎ 1 ΠΌΠ»Π½. оттисков), ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π°Π±ΠΎΡ€ ΠΈ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π°Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΈΡ€Π°ΠΆΠ°.

  Π›ΠΈΡ‚.: Биняков Н. И., ВСхнология изготовлСния фотомСханичСских ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΎΡ€ΠΌ, 2 ΠΈΠ·Π΄., М., 1974.

  Н. Н. Полянский.

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈ'ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ, фоторСзистивный эффСкт, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктропроводности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм элСктромагнитного излучСния. Π’ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ Π€. наблюдалась Π² Se Π£. Π‘ΠΌΠΈΡ‚ΠΎΠΌ (БША) Π² 1873. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π€. обусловлСна ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ носитСлСй Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм свСта (концСнтрационная Π€.). Она Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… процСссов: Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Ρ‹ Β«Π²Ρ‹Ρ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚Β» элСктроны ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΈ Β«Π·Π°Π±Ρ€Π°ΡΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‚Β» ΠΈΡ… Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости (рис. 1 ), ΠΏΡ€ΠΈ этом ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ возрастаСт число элСктронов проводимости ΠΈ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ (собствСнная Π€.); элСктроны ΠΈΠ· Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π·Π°Π±Ρ€Π°ΡΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° свободныС примСсныС ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ – возрастаСт число Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ (дырочная примСсная Π€.); элСктроны Π·Π°Π±Ρ€Π°ΡΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с примСсных ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости (элСктронная примСсная Π€.). Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π€. «собствСнным» ΠΈ «примСсным» свСтом: «собствСнноС» Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… процСссов Π·Π°Ρ…Π²Π°Ρ‚Π° носитСлСй ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ заполнСнию примСсных Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΊ появлСнию примСсной Π€. (индуцированная примСсная Π€.). ΠšΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π€. ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ достаточно ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° энСргия Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ (Π² случаС собствСнной ΠΈ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π€.), Π»ΠΈΠ±ΠΎ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½ ΠΈ примСсным ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ (Π² случаС элСктронной ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ примСсной Π€.).

  Π’ Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΉ стСпСни Π€. ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ всС нСмСталличСскиС Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Π»Π°. НаиболСС ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½Π° ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСтся Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅ Π€. ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Ge, Si, Se, CdS, CdSe, InSb, GaAs, PbS ΠΈ Π΄Ρ€. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π€. ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π° ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡƒ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ h (ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ числа ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ носитСлСй ΠΊ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌΡƒ числу ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Ρ‘Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΎΠ²) ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ нСравновСсных (ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ…) носитСлСй, Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… свСтом (фотоноситСлСй). ΠŸΡ€ΠΈ освСщСнии Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ свСтом h ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ мСньшС 1 ΠΈΠ·-Π·Π° Β«ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡƒΡ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…Β» процСссов, приводящих ΠΊ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΡŽ свСта, Π½ΠΎ Π½Π΅ связанных с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ фотоноситСлСй (Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ экситонов, примСсных Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ², ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Π΄Ρ€.). ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ вСщСства ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Тёстким ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ h > 1, Ρ‚.ΠΊ. энСргия Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π° достаточно Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ°, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π²Ρ‹Ρ€Π²Π°Ρ‚ΡŒ элСктрон ΠΈΠ· Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠΎΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅ΠΌΡƒ ΠΊΠΈΠ½Π΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ, Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ для ΡƒΠ΄Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ . ВрСмя ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ носитСля (Ρ‚. Π΅. врСмя, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΎΠ½ Π² срСднСм ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π² свободном состоянии) опрСдСляСтся процСссами Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ прямой (ΠΌΠ΅ΠΆΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ) Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠΈ фотоэлСктрон сразу ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ‹ проводимости Π² Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ. Π’ случаС Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· примСсныС Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Ρ‹ элСктрон сначала захватываСтся примСсным Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π² Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ. Π’ зависимости ΠΎΡ‚ структуры ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, стСпСни Π΅Π³ΠΎ чистоты ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ врСмя ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… ΠΎΡ‚ Π΄ΠΎΠ»Π΅ΠΉ сСк Π΄ΠΎ 10-8 сСк.

  Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π€. ΠΎΡ‚ частоты излучСния опрСдСляСтся спСктром поглощСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ увСличСния коэффициСнта поглощСния Π€. сначала достигаСт максимума, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚. Π‘ΠΏΠ°Π΄ Π€. ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ большом коэффициСнтС поглощСния вСсь свСт поглощаСтся Π² повСрхностном слоС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Π³Π΄Π΅ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ° ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠΈ носитСлСй (повСрхностная рСкомбинация, рис. 2 ).

  Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈ Π΄Ρ€. Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ Π€., Π½Π΅ связанныС с ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ свободных носитСлСй. Π’Π°ΠΊ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ свободными носитСлями Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ элСктромагнитного излучСния, Π½Π΅ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ·ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ примСсных Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², происходит ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ энСргии (Β«Ρ€Π°Π·ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Β») носитСлСй, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ измСнСнию ΠΈΡ… подвиТности ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΊ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ элСктропроводности. Вакая подвиТностная Π€. ΡƒΠ±Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈ высоких частотах ΠΈ пСрСстаёт Π·Π°Π²ΠΈΡΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ частоты ΠΏΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… частотах. ИзмСнСниС подвиТности ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм излучСния ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ обусловлСно Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ энСргии носитСлСй, Π½ΠΎ ΠΈ влияниСм излучСния Π½Π° процСссы рассСяния элСктронов кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΠΎΠΉ.

  Π˜Π·ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π€. – ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивных способов исслСдования свойств Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Π» . Π―Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π€. ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания фоторСзисторов , Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΡ‘ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² излучСния Π² ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ – ΠΎΡ‚ g-Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ Π΄ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° свСрхвысоких частот .

  Π›ΠΈΡ‚.: Π Ρ‹Π²ΠΊΠΈΠ½ Π‘. М., ЀотоэлСктричСскиС явлСния Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ…, М., 1963; Π‘Ρ‚ΠΈΠ»ΡŒΠ±Π°Π½Ρ Π›. Π‘., Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², М., 1967; см. Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π»ΠΈΡ‚. ΠΏΡ€ΠΈ ст. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ .

  Π­. М. Π­ΠΏΡˆΡ‚Π΅ΠΉΠ½.

Рис. 2. Π₯Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Π²ΠΈΠ΄ спСктра собствСнной фотопроводимости. Π Π΅Π·ΠΊΠΈΠΉ спад Π² Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ области ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚. Π½. ΠΊΡ€Π°ΡŽ поглощСния β€” Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ собствСнного поглощСния, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° энСргия Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π° становится мСньшС ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹; ΠΏΠ»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ спад Π² области ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ обусловлСн ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ свСта Ρƒ повСрхности.

Рис. 1. ΠΊ ст. Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ.

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ эффСкт

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈ'чСский эффС'ΠΊΡ‚, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ фотоэдс Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ одноосном сТатии ΠΈ освСщСнии.

ЀоторСактивация

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°'ция, ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ дСйствия ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ излучСния Π½Π° ΠΆΠΈΠ²Ρ‹Π΅ ΠΊΠ»Π΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ воздСйствии Π½Π° Π½ΠΈΡ… ярким Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ свСтом. Π€. ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Π° Π² 1948 И. Π€. ΠšΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π²Ρ‹ΠΌ (Π‘Π‘Π‘Π ), А. ΠšΠ΅Π»Π½Π΅Ρ€ΠΎΠΌ ΠΈ Π . Π”ΡƒΠ»ΡŒΠ±Π΅ΠΊΠΊΠΎ (БША) Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚ΠΎΠ², ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Ρ‘Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° инфузориях парамСциях, ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ²Ρ€Π°Ρ‚ΠΊΠ°Ρ…, конидиях Π³Ρ€ΠΈΠ±ΠΎΠ², бактСриях ΠΈ Π±Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΎΡ„Π°Π³Π°Ρ…. Π’ основС Π€. Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Ρ„Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ расщСплСниС Π½Π° ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠΈΡ€ΠΈΠΌΠΈΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π΄ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π² Π”ΠΠš ΠΏΠΎΠ΄ влияниСм ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ излучСния. Π€. Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»Π° Π² процСссС ΡΠ²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ΅ приспособлСниС ΠΎΡ‚ Π³ΡƒΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ дСйствия Π£Π€-ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π° солнСчного излучСния ΠΈ являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΡ… Ρ„ΠΎΡ€ΠΌ Ρ€Π΅ΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΆΠΈΠ²Ρ‹Ρ… ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ² ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΡ… гСнСтичСского Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚Π°.

  Π›ΠΈΡ‚.: КовалСв И. Π€., ВлияниС Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ участка спСктра лучистой энСргии Π½Π° Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ патологичСского процСсса Π² ΠΊΠ»Π΅Ρ‚ΠΊΠ΅, ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ Π»ΡƒΡ‡Π°ΠΌΠΈ, Π² ΠΊΠ½.: Π£Ρ‡Ρ‘Π½Ρ‹Π΅ записки Украинского ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ института Π³Π»Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… Π±ΠΎΠ»Π΅Π·Π½Π΅ΠΉ, Ρ‚. 1, Од., 1949; ВосстановлСниС ΠΊΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΏΠ΅Ρ€. с Π°Π½Π³Π»., М., 1963; Π‘ΠΌΠΈΡ‚ К. ΠΈ Π₯энСуолт Π€., ΠœΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½Π°Ρ фотобиология, ΠΏΠ΅Ρ€. с Π°Π½Π³Π»., М., 1972.

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π³ΠΈΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ установка

ЀоторСгистри'Ρ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ устано'Π²ΠΊΠ°, Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ…Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„, ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ для рСгистрации развития Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… процСссов (Π²Π·Ρ€Ρ‹Π², Π³ΠΎΡ€Π΅Π½ΠΈΠ΅, дСтонация, элСктричСский разряд ΠΈ Ρ‚.ΠΏ.) Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. О ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ°Ρ… дСйствия Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡƒΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² Π€. Ρƒ. см. Π Π°Π·Π²Ρ‘Ρ€Ρ‚ΠΊΠ° оптичСская .

ЀоторСзист

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈ'ст (ΠΎΡ‚ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ... ΠΈ Π°Π½Π³Π». resist – ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ, ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ), ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ слой, нанСсённый Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластины с окисной ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΎΠΉ. Π€. ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ элСктроникС ΠΈ микроэлСктроникС (см., Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠŸΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Π°Ρ тСхнология ) для получСния Π½Π° пластинС Β«ΠΎΠΊΠΎΠ½Β» Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… доступ ΠΊ Π½Π΅ΠΉ травитСля. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ экспонирования Π€. Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ стСклянный шаблон Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° элСктронным Π»ΡƒΡ‡ΠΎΠΌ) свойства Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ: Π»ΠΈΠ±ΠΎ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π€. Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ (Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ Π€.), Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΠ½ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΈ становится Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ (ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ Π€.). ΠŸΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° растворитСлСм ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΠ΅Ρ‚ Π² Π€. Β«ΠΎΠΊΠ½Π°Β» Π½Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Ρ‘Π½Π½Ρ‹Ρ… участках Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π€. ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… участках ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π€. Π’ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π€.: Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ – слои ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ спирта с солями Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кислот ΠΈΠ»ΠΈ эфирами ΠΊΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ кислоты , слои Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡƒΡ‡ΡƒΠΊΠ° с Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ «сшиваниС» ΠΌΠ°ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ» ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм свСта; ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ – Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΠΎ- ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡ€Π΅Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ΄Π΅Π³ΠΈΠ΄Π½Π°Ρ смола с ΠΎ -Π½Π°Ρ„Ρ‚ΠΎΡ…ΠΈΠ½ΠΎΠ½Π΄ΠΈΠ°Π·ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ. Π‘ΠΌ. Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ѐотолитография .