Π. ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ β ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ (Π½Π΅ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ Bi, Tl, Pb, Hg). ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 250 ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΎΠ², ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ (MeSi, MeSi2, Me5Si3, Me3Si, Me2Si ΠΈ Π΄Ρ.) ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΡΡΡΠΌ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ; Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠΉ (Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΡΠΌ. Π€Π΅ΡΡΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ) ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π° MoSi2 (Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΠΊΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½ ΠΈ Ρ. Π΄.).
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π. ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ (95β98%) ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΡΠ³Π΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌΠ° SiO2 ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π. ΠΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΉΡΠΈΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π., ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π. ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΡ ΠΏΡΡΡΠΌ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ Π. ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² Π΄Π²ΡΡ Π²ΠΈΠ΄Π°Ρ : ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ (Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ SiCI4 ΠΈΠ»ΠΈ SiHCl3 ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Sil4 ΠΈ SiH4) ΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ (Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Β«Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌΒ» ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π. β ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ).
Π‘ΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π. ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ, ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΡΠΎΡΡ, ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ β ΡΠΈΡΠΈΡΡΠΎΡΡ; ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠ°Π±Π»ΡΡ , ΠΈ Ρ. Π΄.). ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π. ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π΄Π»Ρ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΎΡ 1 Π΄ΠΎ 9 ΠΌΠΊΠΌ, Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π² ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ΅ (ΡΠΌ. ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΠ²Π°ΡΡ).
Π. ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π²ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ Π. ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° (ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ). Π. ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π. ΠΏΡΠΈΠ΄Π°ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ, ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΈΡ Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ; ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π. ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΡ. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π½ΡΠ΅, ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ Π. ΠΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π. ΠΈΠ΄ΡΡ Π½Π° ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΎΠ². ΠΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ (Π³Π»ΠΈΠ½Ρ, ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ°ΡΡ, ΡΠ»ΡΠ΄Ρ, ΡΠ°Π»ΡΠΊΠΈ ΠΈ Ρ. Π΄.) ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Π΄Ρ. ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π. Π. ΠΠ°ΡΠ·Π°ΠΊΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΉ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΡΡ ΡΠΊΠ΅Π»Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΠΉ. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π. ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄ΠΈΠ°ΡΠΎΠΌΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΡΠ»ΠΈ) ΠΈ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅ΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³ΡΠ±ΠΊΠΈ, ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠΌΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ Π½Π° Π΄Π½Π΅ ΠΎΠΊΠ΅Π°Π½Π° ΠΌΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΡΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. Π Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ·ΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π±ΠΈΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ»Ρ, ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π., Π² ΡΡΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΎΡΡΡ β ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈΠ»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π. Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π°Π·Π΅ΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π. Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π·Π»Π°ΠΊΠΈ, ΠΎΡΠΎΠΊΠΈ, ΠΏΠ°Π»ΡΠΌΡ, Ρ Π²ΠΎΡΠΈ. Π£ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π²ΡΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π·ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ 0,1β0,5%. Π Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ Π. ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠ°Ρ , ΠΏΠΎΠ΄ΠΆΠ΅Π»ΡΠ΄ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π΅. Π ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ Π΄ΠΎ 1 Π³ Π. ΠΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΠΏΡΠ»ΠΈ Π΄Π²ΡΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Π² Π»ΡΠ³ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΠΈ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π·Π°Π±ΠΎΠ»Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ β ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ·.
Π. Π. ΠΠΎΠ²Π°Π»ΡΡΠΊΠΈΠΉ.
ΠΠΈΡ.: ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π. Π‘., ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΈΠ½Π°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ. Π., 1958; ΠΡΠ°ΡΡΠΊ Π. Π., ΠΡΠΈΠ±ΠΎΠ² Π. Π., ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ β Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π., 1961; Π Π΅Π½ΡΡΠ½ Π. Π ., Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΏΠ΅Ρ. Ρ Π°Π½Π³Π»., Π., 1969; Π‘Π°Π»Π»ΠΈ Π. Π., Π€Π°Π»ΡΠΊΠ΅Π²ΠΈΡ Π. Π‘., ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π., 1970; ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ. Π‘Π±. ΡΡ., ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ΅Π΄. Π. Π‘. Π€Π°Π»ΡΠΊΠ΅Π²ΠΈΡΠ°, Π. Π. ΠΠ΅Π²ΠΈΠ½Π·ΠΎΠ½Π°, Π². 1β2, Π., 1969β70; ΠΠ»Π°Π΄ΡΡΠ΅Π²ΡΠΊΠΈΠΉ Π. Π., ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ², Π., 1971; Wolf Π. F., Silicon semiconductor data, Oxf. β N. Y., 1965.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈ'ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΆΠΈ'Π΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°, ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΎΠ»ΠΈΠ³ΠΎΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π΅Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΡ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΈ Π. ΠΆ. Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Π°ΠΌΠΈ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ (I) ΠΈ ΡΠ°Π·Π²Π΅ΡΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ (II) ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ Π±Π»ΠΎΠΊΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ β ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ (R = R' = CH3), ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΈΡΡΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ (R = R' = C2H5) ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠ΅Π½ΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ (R = CH3, R' = C6H5) Ρ ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΡ Π΄ΠΎ 30 000 (ΡΠΌ. ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ).
R3SiOβ[ββOβ] nβSiR3 (I)
RSi [βO (ββ) nSiR3]3. (II)
Π. ΠΆ. ΠΏΠΎ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΌΡ Π²ΠΈΠ΄Ρ Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ»Π° Π½Π΅ΡΡΡΠ½ΡΠ΅. Π. ΠΆ. ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ: Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ, Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΆΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ, ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΈ Ρ. Π΄.
ΠΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ Π°Π΄ΠΈΠ°Π±Π°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΆΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ 30Β°Π‘ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ², ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡ 0,65 ΠΈ 50 ΠΌΠΌ/ΡΠ΅ΠΊ, ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡ, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ 1,74Γ10-9ΠΌ2/Π½ (1,74Γ10-10ΡΠΌ/Π΄ΠΈΠ½) ΠΈ 1,09Γ10-9ΠΌ2/Π½ (1,09Γ10-10ΡΠΌ2/Π΄ΠΈΠ½) [Π΄Π»Ρ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½Π³Π»ΠΈΠΊΠΎΠ»Ρβ 0,33Γ10-9ΠΌ2/Π½ (0,33Γ10-10ΡΠΌ2/Π΄ΠΈΠ½)]. ΠΡΠΈ ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΈ Π. ΠΆ. ΠΈΡ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ. Π. ΠΆ. ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ.
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ Π΄ΠΎ 175Β°Π‘ ΠΎΠ½ΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ; ΠΏΡΠΈ 200Β°Π‘ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ (Cu, Pb, Se, Te) ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΈ. Π ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π΅ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ 250Β°Π‘. ΠΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ» ΡΠ΅Π½ΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½Ρ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΠΏΡΠΈ 250Β°Π‘, Π° Π² ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈ 300Β°Π‘.
Π. ΠΆ. ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΠΆΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½Ρ.
Π. ΠΆ. ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΎΠ±ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΠΉ, Π±ΡΠΌΠ°Π³ΠΈ ΠΈ Π΄Ρ. ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π² Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄Π°Ρ ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠ°Π²Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΡΡΡΠ°Ρ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ; ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π²Π΄Π²ΠΎΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΡΡΡΠ±ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΠ·ΠΊΠΈΠ΅ Π. ΠΆ. ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π² ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ Π΄Π΅ΠΌΠΏΡΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ . ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠΆΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ Π. ΠΆ. ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Β«ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠΆΠΈΠ½ΡΒ». ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π. ΠΆ. ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΡΠΌΠ°Π·ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠΌΠ°Π·ΠΎΠΊ, ΡΠ°ΡΡΠΎ Π² ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠΈ Ρ Π½Π΅ΡΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°ΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΌΠ°Π·ΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ Π½Π΅ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°. Π. ΠΆ. ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ Π² ΡΡΠ°Π½ΡΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΎΡΠ°Ρ , ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ°Ρ , Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠ΅Π½ΠΎΠ³Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ, Π°Π½ΡΠΈΠ°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΌΠ°Π·ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅ΡΡΡΠΎΡΠΌ, ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ². Π. ΠΆ. Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠΎΠ², Π»ΠΎΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ°Π΄.
ΠΠΈΡ. ΡΠΌ. ΠΏΡΠΈ ΡΡ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ.
Π. Π. ΠΠ΄Π°Π½ΠΎΠ².
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡΠΊΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈ'ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡ'ΠΊΠΈ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡΠΊΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π. ΠΊ. ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠ»Π°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΊΡΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Π° Π. ΠΊ. ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ
O [ββOβ] n
Π³Π΄Π΅ R ΠΈ β Π°Π»ΠΊΠΈΠ», Π°Π»ΠΊΠ΅Π½ΠΈΠ», Π°ΡΠΈΠ», R'' β Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄, Π°Π»ΠΊΠΈΠ» ΠΈΠ»ΠΈ βSi (R)3. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π. ΠΊ. β ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»Π²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ (ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΠΊΠ° Π‘ΠΠ’Π); ΠΈΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Ρ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 99% Π΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡ (R = R' = CH3β) ΠΈ Π΄ΠΎ 1% ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»Π²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡ (R = CH3 β, R' = CH2CHβ) Π·Π²Π΅Π½ΡΠ΅Π². ΠΡΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΡΠΎΠ·ΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π½ΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ (Π‘ΠΠ’Π€, Π‘ΠΠ’Π€Π) ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ»ΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΡΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π. ΠΊ. (Π‘ΠΠ’Π€Π’). Π. ΠΊ. ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π»ΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»-Π΄ΠΈΡ Π»ΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½Π°) ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π²ΡΠΈΡ ΡΡ ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½ΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² β ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ. Π. ΠΊ. β ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π΅ΡΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΆΠ΅Π»Π΅ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π±Π΅Π· Π²ΠΊΡΡΠ° ΠΈ Π·Π°ΠΏΠ°Ρ Π°. ΠΡ ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° (3β8)Β·105 ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ 960β980 ΠΊΠ³/ΠΌ3 (0,96β0,98 Π³/ΡΠΌ2), ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ β 130 Β°Π‘. ΠΠ°ΡΡΡΠΊΠΈ Π‘ΠΠ’Π ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡ Π² ΡΠ³Π»Π΅Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°Ρ , ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ ΡΡΠΈΡΠ°Ρ , Π½Π΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡ Π² ΡΠΏΠΈΡΡΠ°Ρ , ΠΊΠ΅ΡΠΎΠ½Π°Ρ . Π. ΠΊ. Π²ΡΠ»ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ·ΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΡΠΌΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠΌΠΈΠ»Π°, ΡΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠΈΠ»Π°); ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π²ΡΠ»ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ (ΡΠΌ. ΠΡΠ»ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ). Π. ΠΊ. ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠ°ΡΡΡΠΊΠ°ΠΌ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π Π΅Π·ΠΈΠ½Ρ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠΎ- ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΠ½Ρ ΠΈΠ· Π²ΡΠ΅Ρ Π΄Ρ. ΠΊΠ°ΡΡΡΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΌΠΎΡΠΎΠ·ΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ (Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠΎΡΠΎΠ·ΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈ ΡΠ΅Π½ΠΈΠ»Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΡΠ½Π½ΡΠ΅ Π. ΠΊ.) ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π. ΠΊ. ΠΎΡ β100 Π΄ΠΎ 250 Β°Π‘, ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ 20 ΠΈ 250 Β°Π‘ β ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ 10 Π’ΠΎΠΌΓΠΌ ΠΈ 1 ΠΠΎΠΌΓΠΌ (1Γ1015 ΠΈ 1Γ1011 ΠΎΠΌΓΡΠΌ). ΠΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π·ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π. ΠΊ. ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 10 ΠΠ½/ΠΌ2 (100 ΠΊΠ³Ρ/ΡΠΌ2).