Π§ΠΈΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Π½Π° Bookidrom.ru! БСсплатныС ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠ»ΠΈΠΊΠ΅

Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Β«Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° Π² вопросах ΠΈ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚Π°Ρ…Β». Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° 30

Автор И. Π₯абловски

Рис. 5.12. УсловноС графичСскоС ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΏΠΈΡ€Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ тиристора с ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎ Π°Π½ΠΎΠ΄Ρƒ (Π°) ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ (Π±)

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ тиристор?

Π­Ρ‚ΠΎ тиристор с двумя ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ элСктродами: Π°Π½ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ. Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ тиристора ΠΈ Π΅Π³ΠΎ графичСскоС ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ прСдставлСны Π½Π° рис. 5.13. Анодный ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктрод ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ использован ΠΊΠ°ΠΊ для Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ для Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тиристора.



Рис. 5.13. Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ тиристора (Π°) ΠΈ Π΅Π³ΠΎ условноС графичСскоС ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ (Π±)


Для Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктрод ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡ ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ полярности, для Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ. Π’Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ тиристор часто Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌ управляСмым ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ. Достоинством Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… тиристоров являСтся мСньшСС врСмя Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1β€”30 мкс), Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ Ρ‚Ρ€ΠΈΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… тиристоров. ВыпускаСмыС Π² настоящСС врСмя Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ тиристоры Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°Ρ… Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… сотСн ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΠΌΠΏΠ΅Ρ€ ΠΏΡ€ΠΈ рассСиваСмой мощности Π΄ΠΎ 0,5 Π’Ρ‚. Π’ΠΎΠ»ΡŒΡ‚-Π°ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ характСристики ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² тиристоров ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π²ΠΈΠ΄.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ симистор?

Π­Ρ‚ΠΎ симмСтричный тиристор с ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ элСктродом, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ напряТСнии смСщСния Π°Π½ΠΎΠ΄Π° с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ°, ΠΏΠΎΠ΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктрод. Π’ΠΈΠ΄ характСристики симистора ΠΈ Π΅Π³ΠΎ графичСскоС ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ прСдставлСны Π½Π° рис. 5.14.



Рис. 5.14. Π’ΠΎΠ»ΡŒΡ‚-ампСрная характСристика симистора (Π°) ΠΈ Π΅Π³ΠΎ условноС графичСскоС ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ (Π±):

1 β€” ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΈ 2 β€” ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π°Π½ΠΎΠ΄

Для ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ… Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ тиристоры?

Виристоры ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² управляСмых выпрямитСлях, стабилизаторах напряТСния (см. Π³Π». 6) Π² качСствС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ, Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ основных элСмСнтов Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅ автоматичСского рСгулирования.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ фототиристор?

Π­Ρ‚ΠΎ тиристор с ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ элСктродом ΠΈ окошком Π² корпусС, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² Ρ€-n-Ρ€-n структурС. Π’ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ фототиристора зависит ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктрода, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· окошко свСта. Ѐототиристоры находят ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² схСмах рСгулирования ΠΈ логичСских схСмах.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ микроэлСктроника?

ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ «микроэлСктроника» ΠΎΡ…Π²Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ элСктроники, Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ (Π² нСсколько сотСн ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ тысяч Ρ€Π°Π·) Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ элСктронных устройств.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы?

Π­Ρ‚ΠΎ схСмы, содСрТащиС Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктронного ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡƒΠ·Π»Π° ряд основных элСмСнтов (рСзисторы, кондСнсаторы, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹, транзисторы), ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΌ тСхнологичСском Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π΅ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ схСму, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ усилитСля, Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°, Ρ‚Ρ€ΠΈΠ³Π³Π΅Ρ€Π°, логичСской схСмы, ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ тСхничСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹. Π‘ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ элСмСнты элСктронной схСмы ΠΈ ΠΈΡ… мСТсоСдинСния ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ (Π² объСмС), Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π½Π° повСрхности ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π΅Ρ€Π°Π·ΡŠΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ΅ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠ΅. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡƒΠ·Π΅Π» ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π° для нСпосрСдствСнного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° Π² элСктронных устройствах ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΠ΅Ρ‚ вмСстС с корпусом Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Β«Ρ‚Π°Π±Π»Π΅Ρ‚ΠΊΡƒΒ» ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ (рис. 5.15) с Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ для ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. Π’ зависимости ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ назначСния ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма эквивалСнтна элСктронной схСмС, содСрТащСй ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΎΡ‚ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ† Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… сотСн ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… (дискрСтных) пассивных ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов.



Рис. 5.15. Π’Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ микросхСмы

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΠΈ большой стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ?

Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы, содСрТащиС Π΄ΠΎ 100 пассивных ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов[16], принято Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ схСмами срСднСй стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (Π°Π½Π³Π». MSI), Π° схСмы, содСрТащиС ΡΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅ 100 элСмСнтов, β€” большой стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ схСмы с ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒΡŽ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, содСрТащиС нСбольшоС количСство элСмСнтов. НапримСр, типичная схСма Π‘Π˜Π‘ содСрТит нСсколько сотСн элСмСнтов, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° пластинкС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ (Π±Π΅Π· корпуса) 1,5Ρ…3 ΠΌΠΌ.

КакиС прСимущСства Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм?

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм вмСсто схСм, состоящих ΠΈΠ· дискрСтных элСмСнтов, Π΄Π°Π΅Ρ‚ ряд прСимущСств, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ваТнСйшими ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ: ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² (ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ) ΠΈ массы устройства, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ надСТности, сниТСниС стоимости изготовлСния устройств ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ потрСблСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ устройства, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈ использовании дискрСтных элСмСнтов Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π±Ρ‹ Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ нСэкономичным.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм создаСт Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ нСудобства. ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² этих схСм ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° Π²Ρ‹Π½ΡƒΠΆΠ΄Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² Β«ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΠ½ΡΡ‚ΡŒΒ» свои Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ микросхСмам. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ трудности ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅, Π² частности ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅. Они ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ ΠΊ искрСниям ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠΌ замыканиям Π² схСмС.

КакиС Ρ‚ΠΈΠΏΡ‹ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм Π²ΡΡ‚Ρ€Π΅Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² элСктроникС?

Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм, ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ изготовлСния ΠΈ свойствами: ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅, Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅, толстоплСночныС, Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅. НаиболСС распространСны ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ с Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния условий Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ содСрТащихся Π² Π½ΠΈΡ… элСмСнтов: Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы (часто Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ микросхСмами). Π’ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… схСмах Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Π΄Π²Π° ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½ΠΈΡ… состояния: отпирания ΠΈ запирания (ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ). Π’ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… схСмах ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал (Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹) Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал. К Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ схСмам относятся Ρ‚Ρ€ΠΈΠ³Π³Π΅Ρ€Ρ‹, ΠΊ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹ΠΌ β€” усилитСли.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы?

Π­Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы, всС пассивныС ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ‹ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ пластинкС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° (монокристаллС крСмния). Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ пластинки ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ составляСт ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°, ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌ приповСрхностном слоС находятся элСмСнты схСмы ΠΈ соСдинСния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ, созданныС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Вакая тСхнология позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π² пластинкС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° (крСмния) области с Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ проводимости (Ρ€ ΠΈ n), Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ соСдинСния этих областСй с мСталличСскими ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ. ΠžΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ с Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ проводимости ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ рСзисторов, кондСнсаторов, Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², транзисторов. Π’ΠΈΠΏ проводимости опрСдСляСтся ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ примСси. Π˜Π·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΊ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡ€ΠΎΠ² Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° n, ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΊ Π°ΠΊΡ†Π΅ΠΏΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² β€” ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Ρ€. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ измСнСния Ρ‚ΠΈΠΏΠ° проводимости ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ добавлСния примСсСй называСтся компСнсациСй.

Атомы примСсСй вводятся Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ помСщСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π² смСсь ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² с Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ примСси ΠΏΡ€ΠΈ достаточно высокой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Ρ‚Ρ€ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡƒΡŽ структуру, ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‰ΡƒΡŽ Π΄Π²Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°; Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ являСтся пСрвая диффузия. ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ областСй, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ примСсСй ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° проводимости, осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ слоСв двуокиси крСмния, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ участки, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ слоСм. Π‘Π»ΠΎΠΉ двуокиси крСмния Π½Π° пластинкС создаСтся окислСниСм повСрхности пластинки ΠΏΡ€ΠΈ высокой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. ВскрытиС ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… участков (Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… окошСк) Π² слоС окисла для провСдСния Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ осущСствляСтся растворСниСм окисла Π² ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ кислотС. Π’ процСссС удалСния слоСв окисла с ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… участков повСрхности ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ фотомасками, ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ Π»ΡƒΡ‡Π°ΠΌΠΈ. Участки ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΌΡƒΠ»ΡŒΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ Π½Π΅ засвСчСнныС Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· маску (шаблон), ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ систСмой ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… участков, Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс называСтся Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠ΅ΠΉ.

Π‘Π»ΠΎΠΉ окисла ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ повСрхности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° послС окончания производствСнного процСсса ΠΎΡ‚ загрязнСний ΠΈ влияния ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды. Π­Ρ‚ΠΎ β€” пассивация повСрхности.