Π§ΠΈΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ Π½Π° Bookidrom.ru! БСсплатныС ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠ»ΠΈΠΊΠ΅

Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½ «Нанонауки. НСвидимая Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΡΒ». Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° 33

Автор ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ°Π½ Π–ΠΎΠ°ΠΊΠΈΠΌ

Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠœΡŽΠ»Π»Π΅Ρ€ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» мноТСство ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ». Π’ Ρ‚ΠΎ врСмя автоэлСктронный микроскоп (эмиссионно-ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ микроскоп) Π»Π΅Ρ‚ Π½Π° ΠΏΡΡ‚Π½Π°Π΄Ρ†Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΆΠ°Π» своСго сопСрника, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ Π±Ρ‹Π» микроскоп элСктронный. Но эта Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° β€” лишь вынуТдСнная Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ для Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условий, ΡΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… элСктричСских полях ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… давлСниях. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, автоэлСктронный микроскоп Π½Π΅ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΎΠ³ΠΎ прСдставлСния ΠΎΠ± Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… структурах ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ», ΠΊΠ°ΠΊ установки с рСнтгСновскими Π»ΡƒΡ‡Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ элСктронный микроскоп. Π’ наши Π΄Π½ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ (ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ) микроскоп для опрСдСлСния характСристик структуры ΠΈΠ³Π» Π½Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ микроскопом.

Π ΠžΠ–Π”Π•ΠΠ˜Π• Π­Π›Π•ΠšΠ’Π ΠžΠΠΠžΠ“Πž МИКРОБКОПА

Π’ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ 1930-Ρ… Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ БСрлинского унивСрситСта Эрнст Руска ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» Π·Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ для контроля Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° пятна, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ элСктронов, ΠΏΡ€ΠΎΠΏΡƒΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· отвСрстиС Π² мСталличСской пластинкС. ΠŸΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»Ρƒ ΠΎΠ½ Ρ€Π΅ΡˆΠΈΠ» Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ солСноидом (Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΈΠ΄Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Ρ‚ΡƒΡˆΠΊΠΎΠΉ, которая, Ссли ΠΏΠΎ Π΅Π΅ Π²ΠΈΡ‚ΠΊΠ°ΠΌ Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Ρ‚ элСктричСский Ρ‚ΠΎΠΊ, дСйствуСт ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚), полагая, Ρ‡Ρ‚ΠΎ солСноид смоТСт ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° элСктронов Ρ‚Π°ΠΊ, ΠΊΠ°ΠΊ Π»ΠΈΠ½Π·Π° фокусируСт проходящиС Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π΅Π΅ Π»ΡƒΡ‡ΠΈ свСта. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ΄ΡƒΠΌΠ°Π», Ρ‡Ρ‚ΠΎ аналогия ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСктронами ΠΈ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ свСтом сулит ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ большС, ΠΈ построил ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ микроскоп ΠΈΠ· источника элСктронов, солСноида ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ экрана (всС это, понятно, Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΎ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ). ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΌ ΠΎΠ½ помСстил ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ солСноидом ΠΈ экраном нСбольшой ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΌΠ΅Ρ‚ β€” ΠΈ солСноид ΠΏΠΎΠ²Π΅Π» сСбя Π½Π° ΠΌΠ°Π½Π΅Ρ€ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Π² оптичСском микроскопС. Π’Π°ΠΊ Руска ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 14,4 Ρ€Π°Π·Π° ΠΈ β€” ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π» элСктронный микроскоп.

ΠŸΠ°ΠΌΡΡ‚ΡƒΡ ΠΎ тСорСтичСских ограничСниях возмоТностСй получСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ свСта, Руска Π² Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π΅ Π΄ΡƒΡˆΠΈ надСялся, Ρ‡Ρ‚ΠΎ элСктроны смогут ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅. Π£Π²Ρ‹, Π² 1927 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ Π›ΡƒΠΈ Π΄Π΅ Π‘Ρ€ΠΎΠΉΠ»ΡŒ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π» Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ, ознакомившись с ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Руска ΠΏΡ€ΠΈΡƒΠ½Ρ‹Π»: Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ с элСктроном, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ со всякой ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ частицСй, связана нСкая Π²ΠΎΠ»Π½Π°. Руска Ρ‚Π°ΠΊ Ρ…ΠΎΡ‚Π΅Π» ΠΎΠ±ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ тСорСтичСскиС ограничСния ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ β€” ΠΈ Π½Π° Ρ‚Π΅Π±Π΅: Π΅Π³ΠΎ микроскоп Ρ‚ΠΎΠΆΠ΅ подчиняСтся Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π°ΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ, Π² частности, Π½Π΅ свободСн ΠΎΡ‚ явлСний Π²Ρ€ΠΎΠ΄Π΅ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ. Но трудности Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ остановили: Π² 1932 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ Руска ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π», Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π» Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ элСктронного микроскопа Π½Π΅ Ρ…ΡƒΠΆΠ΅ 0,22 Π½ΠΌ. И воспрял Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ: это ΠΎΠ±Π΅Ρ‰Π°Π»ΠΎ, Π² Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠΈ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹!

Π’Π°ΠΊ начинался Ρ‚ΠΎΡ‚ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Π°ΠΊΠ»ΡŒ. К ΠΊΠΎΠ½Ρ†Ρƒ 1930-Ρ… Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктронного микроскопа достигло 30 Ρ‚ыс. Ρ€Π°Π·, Π° Π² 1950-Π΅ ΡƒΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΠ»ΠΎΡΡŒ сотнСй тысяч Ρ€Π°Π·. Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡ‚ΡŒ эти Ρ†ΠΈΡ„Ρ€Ρ‹ Π΅Ρ‰Π΅ хотя Π±Ρ‹ Π½Π° тысячу.

ΠšΠΎΠ»Ρ‹Π±Π΅Π»ΡŒΡŽ прогрСсса стала компания Telefunken: ΠΌΠΎΠ»ΠΎΠ΄Ρ‹Π΅ ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ‹Ρ‚Π°Π»ΠΈΡΡŒ Ρ€Π΅ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ слоТнСйшиС тСхничСскиС Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ, ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ развивая Ρ‚Π΅Π»Π΅Π²ΠΈΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅. И Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ: ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΈΡ€Π°Π»ΠΈ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ пропускания элСктронов Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†, ΠΏΡ€Π΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ мСтания Ρ‚ΠΎΠ½ΡŽΡΠ΅Π½ΡŒΠΊΠΎΠΉ элСктронной кисточки, сочСтали всС это… Π½ΠΎ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌ Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π²Π°Π»ΠΎΡΡŒ. Волько Π² 1970 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ Π½Π° экранС элСктронного микроскопа появились ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ изобраТСния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ², Π½ΠΎ ΡΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΎΡΡŒ это Π½Π΅ Π² Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΈ, Π° Π² Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π¨Ρ‚Π°Ρ‚Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ создали элСктронный микроскоп Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈ Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ, ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ.

Рис. 3. Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ свСрхтонкого кристалла Ρ„Ρ‚Π°Π»ΠΎΡ†ΠΈΠ°Π½ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° экранС ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктронного микроскопа, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» X. Π₯асимото Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ токийского унивСрситСта Π² 1974 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ. На ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π·Π°ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π° ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ фотографичСской пластинкС ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ элСктронов, ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· кристалл, Π½Π°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° β€” Π² ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΠΉ части снимка β€” структурная Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π° ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Ρ‹


Π’ 1974 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ Π½Π° Π°Ρ€Π΅Π½Ρƒ вновь Π²Ρ‹ΡˆΠ»Π° наша ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Π° Ρ„Ρ‚Π°Π»ΠΎΡ†ΠΈΠ°Π½ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. И вновь заставила Π·Π°Π³ΠΎΠ²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎ сСбС. X. Π₯асимото ΠΈΠ· Вокийского унивСрситСта ΠΈΠ·Π±Ρ€Π°Π» Π΅Π΅ Π² качСствС исслСдуСмого ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ Π΅Π΅ находится Π°Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ обнаруТиваСтся ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌ элСктронным микроскопом. Π₯отя Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΆΠ΅ микроскоп Π½Π΅ Π²ΠΈΠ΄Π΅Π» Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°, Ρ‚ΠΎΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Π΅, X. Π₯асимото рассчитывал, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΅ΠΌΡƒ удастся Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠŸΠΎΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠ² кристаллик Ρ„Ρ‚Π°Π»ΠΎΡ†ΠΈΠ°Π½ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² свой микроскоп, ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» прСкрасныС изобраТСния, ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΆΠ΅ ΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠ² подробности Π½Π° Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ микроскопС (рис. 3). Π£ этой Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ Π΅ΡΡ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ Π²Ρ‹Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ прСимущСство: ΠΎΠ½Π° Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ создания ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ…-Ρ‚ΠΎ особСнных условий β€” высокого давлСния ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.; ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ нСпосрСдствСнно, Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΡŽ рСнтгСновских Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ.

ВУННЕЛЬНЫЙ МИКРОБКОП

Π’ΠΎ всСх Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‡Ρ‚ΠΎ описанных микроскопах источник излучСния Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ ΠΎΡ‚ экрана, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΈ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ изобраТСния. А Ρ‡Ρ‚ΠΎ, Ссли ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ³Π»Ρƒ ΠΊ мСталличСскому экрану? Игла ΠΈ экран ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ кондСнсатора, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ элСктричСски заряТСны ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ напряТСниС. К ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ, ΠΏΡ€ΠΈ напряТСнии порядка 1 Π’ Π½Π° ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°Ρ… кондСнсатора скапливаСтся нСсколько элСктронов (Ссли расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ поддСрТиваСтся Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²). ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ напряТСниС поляризации (напряТСниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ кондСнсатора) ΠΌΠ°Π»ΠΎ, элСктроны Π½Π΅ ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ с ΠΈΠ³Π»Ρ‹ β€” Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ элСктронного микроскопа.

Но этот малюсСнький кондСнсатор страдаСт ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ изъяном: ΠΎΠ½ Ρ‚Π°ΠΊ ΠΌΠ°Π», Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ элСктричСски β€” Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Π΅Π΅, «элСктронно» (посрСдством элСктронов) β€” Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΠΊ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Π­Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ элСктрон Β«Π½Π΅ Π·Π½Π°Π΅Ρ‚Β», Π½Π° ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ½ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ΅. «НСвСдСниС» это ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹, ΠΈ выраТаСтся ΠΎΠ½ΠΎ Π² Ρ‚ΠΎΠΊΠ΅ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ Π½ΠΈΡ‡Ρ‚ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ силы, Π° само явлСниС называСтся Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ эффСктом. ΠŸΡ€ΠΈ напряТСнии поляризации Π² 1 Π’ ΠΈ расстоянии ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² 1 Π½ΠΌ сила Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ порядка 1 нА ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ удалСния ΠΈΠ³Π»Ρ‹ ΠΎΡ‚ повСрхности. Π₯отя Ρ‚ΠΎΠΊ силой Π² Π½Π°Π½ΠΎΠ°ΠΌΠΏΠ΅Ρ€ каТСтся Π½ΠΈΡ‡Ρ‚ΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ, сама эта Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π° сСкунду ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ пСрСмСщаСтся порядка 1010 элСктронов. Однако нашлись люди, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²ΡˆΠΈΠ΅ этот ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠΊ Π² Π΄ΠΎΠ±Ρ€ΠΎΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒ, β€” ΠΈΠΌΠΈ Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π“Π΅Π½Ρ€ΠΈΡ… Π ΠΎΡ€Π΅Ρ€ ΠΈ Π“Π΅Ρ€Π΄ Π‘ΠΈΠ½Π½ΠΈΠ³, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π²ΡˆΠΈΠ΅ Π² ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ IBM Π² Π¦ΡŽΡ€ΠΈΡ…Π΅.

Π’ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅ 1970-Ρ… Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π ΠΎΡ€Π΅Ρ€ заинтСрСсовался Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ свСрхтонких ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, нанСсСнных Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ этих Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² часто Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π»ΠΈ 10 Π½ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ сильно Π²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ памяти ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€Π½Ρ‹ΠΌ транзисторам. Однако Π² Ρ‚ΠΎ врСмя исслСдованиС строСния этих изъянов с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ любого микроскопа β€” Π²ΠΎ всяком случаС, Π±Π΅Π· Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ самих Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² β€” Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ.

Π‘ΠΈΠ½Π½ΠΈΠ³ ΠΈ Π ΠΎΡ€Π΅Ρ€ Ρ€Π΅ΡˆΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ-Ρ‚ΠΎ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ эффСкта, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ ΡΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎ качСствах Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², ΠΈ ΠΎ расстоянии ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‡ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ³Π»Ρ‹ Π΄ΠΎ повСрхности β€” Ρ€Π΅Ρ‡ΡŒ, словом, шла ΠΎΠ± ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° исслСдуСмого ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. Π’ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ ΠΊ Π½ΠΈΠΌ присоСдинился ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€-ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ„ Π“Π΅Ρ€Π±Π΅Ρ€, Ρ‚ΠΎΠΆΠ΅ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΈΠ²ΡˆΠΈΠΉΡΡ Π½Π° IBM. Π’Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ собрали ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π½ΡƒΠ²ΡˆΠΈΡ…ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€ΡƒΠΊΡƒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Π»ΠΎ, ΠΏΠΎ ТСланию, ΠΏΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, ΠΈ устройством для Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ€Π° Π½ΠΈΡ‡Ρ‚ΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² β€” порядка Π½Π°Π½ΠΎΠ°ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°. Они рассчитывали, Ρ‡Ρ‚ΠΎ, сканируя ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ пСрСмСщая ΠΈΠ³Π»Ρƒ Π½Π°Π΄ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΡŒ всю Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ, ΠΈ замСряя ΠΏΡ€ΠΈ этом силу Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, удастся ΠΏΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚ΡŒ, строка Π·Π° строкой, всС ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ обслСдуСмой ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΊΠ°ΠΊ это происходит Π² ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ элСктронном микроскопС.

Π ΠΎΡ€Π΅Ρ€, Π‘ΠΈΠ½Π½ΠΈΠ³ ΠΈ Π“Π΅Ρ€Π±Π΅Ρ€ строили ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† своСго ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π° Ρ‚Ρ€ΠΈ Π³ΠΎΠ΄Π°. Π’ 1981 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ провСряли Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ зависимости силы Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΎΡ‚ расстояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Оказалось, Ρ‡Ρ‚ΠΎ сила Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² 10 Ρ€Π°Π·, Ссли ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ остаСтся Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ 0,1 Π½ΠΌ. Надо Π΄ΡƒΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ, для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ²Π΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€Ρ‹, трСбуСтся нСбывалая Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ позиционирования ΠΈΠ³Π»Ρ‹: Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ подвСсти ΠΈΠ³Π»Ρƒ ΠΊ повСрхности, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡ‚ΡŒ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ расстояниС ΠΏΠΎ Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π½ΠΈΠΉ β€” ΠΏΠΎ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎ Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΠΈ β€” ΠΈΠ³Π»Ρ‹ Π½Π°Π΄ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Помогли Ρ‚Ρ€ΠΈ ΡΡ‚Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½ΡŒΠΊΠ° ΠΈΠ· ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Π½Π΅ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ напряТСниСм.

Π‘ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ производится ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ постоянной силы Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°: ΠΈΠ³Π»Π° поднимаСтся Π½Π°Π΄ Π±ΡƒΠ³ΠΎΡ€ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ опускаСтся Π½Π°Π΄ Π²ΠΏΠ°Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ сканируСмой повСрхности. Но Ссли экспСримСнтаторы рассчитывали ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° обслСдуСмой Β«Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΎΠΉΒ» ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ΅ своСго ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄Ρƒ ступСнСк, Ρ‚ΠΎ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ Ρ€Π°Π·Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ осСнью 1982 Π³ΠΎΠ΄Π°, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ Π²Π΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ†Ρƒ Π±ΡƒΠ³ΠΎΡ€ΠΊΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ, зарСгистрированный ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ, ΠΎΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ» Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡŽ просканированного кристалла! Π’Π°ΠΊ родился Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ микроскоп, создатСли ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Π² 1986 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ ΠΠΎΠ±Π΅Π»Π΅Π²ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€Π΅ΠΌΠΈΡŽ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅.

Из Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ясно, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ микроскоп относится ΠΊ микроскопам Π±Π»ΠΈΠΆΠ½Π΅Π³ΠΎ поля: ΠΊΠΎΠ½Ρ‡ΠΈΠΊ ΠΈΠ³Π»Ρ‹ удСрТиваСтся Π±Π»ΠΈΠ· обслСдуСмой повСрхности. Если нСчаянно ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Ρ‰Π΅ ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ-Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ³Π»Π° коснСтся повСрхности, сила Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ увСличится Π΄ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ порядка 100 мкА, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² сто тысяч Ρ€Π°Π· большС Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°. ΠŸΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ оснащСн ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΎΠ±Π΅Ρ€Π΅Π³Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΈΠ³Π»Ρƒ ΠΎΡ‚ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… мСханичСских ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ.