ΠΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠΈΠ½Π³Π° Π²ΡΠ΅ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌ. ΠΡΡΠΏΠΏΠ° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Π₯ΠΈΡΠ°ΡΠΈ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠ°Ρ Π² ΠΠ΅ΠΌΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΆΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ΅ Π² ΠΠ΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ±ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ, Π² Π°Π²Π³ΡΡΡΠ΅ 2005 Π³ΠΎΠ΄Π° ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠΈΠ»Π°[118] ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° β ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ°Π³Π΅ Π² ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ°, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
Π Π°Π½Π΅Π΅ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΡ ΡΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, Π½ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ°, Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ. Π£ΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Π₯ΠΈΡΠ°ΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½Π°Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠΎΡΠΊΠ° (Π½Π°Π½ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ), ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½Π°Ρ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅, ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ±ΠΈΡ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ Π΄Π΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, Π² 100 ΡΠ°Π· Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠ°Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ ΡΠΆΠ΅ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π² ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΠΠΠ-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°Ρ (CMOS, complimentary metaloxide semiconductorβ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠΈΠΏΡΠ΅ΡΡ). ΠΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ° Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ° Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ, ΠΈ ΠΊΠ΅ΠΌΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΆΡΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠΌΠ°Π½Π΄Π° Π₯ΠΈΡΠ°ΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π»Π° Π²ΡΠ΅ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ: ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ; ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΏΡΠ»ΡΡΠΈΠΈ β Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π³Π΅ΠΉΡΠΎΠ²; ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ β Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΡΡΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ°Ρ . ΠΡΠΎ Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡ Π΅ΠΌΡ, ΡΡΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ°.
Π Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ 2006 Π³ΠΎΠ΄Π° ΡΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· Π£Π½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° ΠΠΈΡΠΈΠ³Π°Π½Π° (Π‘Π¨Π) ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠΈΠ»ΠΈ[119] ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ° ΠΈΠΌ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ MEMS, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ Π²ΡΠ΅ ΡΠΈΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΠΊΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ (Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΈ ΡΡΠΊΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ), ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠΎΡΠΎΡΡ, ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π±ΠΈΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΎΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. ΠΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ β ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ°Π·Ρ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΡΠΆΠ΅ Π°ΠΏΡΠΎΠ±ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ.
Π MEMS ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π΄Π²Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π²ΠΈΠ΄Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ: ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ. ΠΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½Π°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π΅Π΅ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΡΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π½Π° Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅. ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΈ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. ΠΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ (ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ) Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π². ΠΠ΅ Π³Π»Π°Π²Π½Π°Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½Π° ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠ° Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΠΠΠ-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ.
Π’Π°ΠΊ Π²ΠΎΡ, ΡΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΠΠΈΡΠΈΠ³Π°Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Π»ΠΎΠ²ΡΡΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠ½Π³Π΅, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π΅ Π²ΡΡΡΠ½ΡΡ, Π° Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ MEMS-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. ΠΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π»ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π»ΠΎΠ²ΡΡΠΊΡ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π°Π»ΡΠΌΠΎΠ³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΈΠ· Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ. Π£ΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅Π»Π°Π»ΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ Π² ΡΠΈΠΏΠ΅ ΠΈ ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ ΡΡΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ (MEMS). ΠΠ½ΠΈ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΠΏ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠ΅ Π³Π½Π΅Π·Π΄ΠΎ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ Π²Π²Π΅Π»ΠΈ Π³Π°Π· Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΠ°Π΄ΠΌΠΈΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΉ Π»Π°Π·Π΅Ρ. Π’ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ°, ΡΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΡΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π² Π»ΠΎΠ²ΡΡΠΊΠ΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠΎΠ½ 111Cd+ΠΈ Π½Π°ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ²ΡΠΎΡΡ ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΎΠ²ΡΡΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΏΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡΠΌΠΈ. ΠΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΠΈΡΡΡ, ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Β«ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π±Π΅ΡΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Π΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠ°Β». Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΠΎΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π½ΡΠ΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠΎΠ².
Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ° ΡΠΆΠ΅ Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΡΠ»ΠΈ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌ.
Π ΡΠΈΡΠ»Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ , Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ ΠΈ Π½ΠΎΠ²Π΅ΠΉΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠΈΠ½ΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π»Π΅Ρ Π½Π°Π·Π°Π΄ ΡΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΠΠ΅ΠΌΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΆΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΏΠΎ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌ Π½ΠΈΡΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΈΠ· ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π° Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ, Π° Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π΄Π²ΡΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ β ΠΊΡΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΡ Π² ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°Ρ . Π‘Π΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ[120] ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΡΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ Π½Π° ΡΠΏΠΈΠ½Ρ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΡΠΏΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π΅ΠΉ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Ρ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠ΅. ΠΠ° ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ ΠΏΡΠΎΠ»Π΅ΡΠ°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ, Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡ, ΡΠ°ΠΌΠ° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½Π΅Π΅ ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΠ»Ρ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ Π³Π΅ΠΉΡΠΎΠ² (Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ) Π·Π΄Π΅ΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈ ΡΠΏΠΈΠ½-ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠΎΠ². ΠΠ½ΠΈΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ Π»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠ·/Π² ΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½Π΅ΡΠΈΠΊΠΎΠ² (ΠΈ) ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΏΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅Π·ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΏΠΈΠ½-ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΠ²ΡΠΎΡΡ (A. E. Popescu, R. Ionicioiu) ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ , Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ. ΠΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½Π΅Π΅, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΡΡΡ Π΄Π°Π»Π΅Π΅ Ρ ΡΠΊΠ°ΠΆΡ Π½Π° ΠΈΠ½ΡΡΠΈΠ³ΡΡΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠ° ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ° Ρ ΡΠ·ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΡΠΎΡΠ½Π΅Π΅, Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ° Π² Π½Π°ΡΠ΅ΠΌ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠ·Π³Π΅.
Π Π΅ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ΅, Π³Π΄Π΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΈΠ°ΠΏΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΡ Ca5(PO4)3OH, ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ (ΡΡΠΎΡΠ°ΠΏΠ°ΡΠΈΡ ΠΈ Π΄Ρ.). ΠΡΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ°Π½Π΄ΠΈΠ΄Π°ΡΠ°ΠΌΠΈ[121] Π½Π° ΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π―ΠΠ .
ΠΡΠΈΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎ ΠΏΠΎ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Ρ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π»Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ°. ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΠ΅ΡΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ°ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ. ΠΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ° ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ΅Π½Π° 6 Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ, ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Β«Π½ΠΈΡΡΠΌΠΈΒ» ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π² ΡΡΠΈ ΡΠ°Π·Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ΅ (ΡΠΈΡ. 9). ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π΄ΠΈΠΏΠΎΠ»Ρ-Π΄ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ (ΠΠΠ) ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΏΠΈΠ½ΠΎΠ² ΡΠ±ΡΠ²Π°Π΅Ρ Ρ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ 1/r3, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°Π½ΡΠ° ΠΠΠ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΄ΡΠ°ΠΌΠΈ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ΅ Π² Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΈ ΡΠ°Π· Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°Π½ΡΡ ΠΠΠ ΡΠΏΠΈΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ Β«Π½ΠΈΡΡΡ Β». ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΏΠΈΠ½ΠΎΠ² ΡΠ»Π°Π±ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ. Π Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΈΠ°ΠΏΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ (Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ). ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊ, ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΡΠ΄ΡΠΎ ΡΡΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΈΠ½Ρ.